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4-36 4 7 . 4 인 식 파라미터 「인식 」탭을 선 택 하면 아 래의 인 식 파 라미 터를 설 정 할 수 있 습니다 . 인식 파라미터 68430-L3- 00 A: 표면타입 마크표 면 과기판 ( 마크 주 위 ) 과의명 암 관계 를설 정 합니 다 .아 래표 를참 고 하 여주십시 오 . 비 반사체 기판보다 마크가 어두움 반사체 기판보다 마크가 밝음 설 정 밝음 비교 인식상태 기판…
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A,B. 마크외형 X,Y
마크의외형치수를입력합니다 .아래의표를참조하고자동으로계측한정확한수치를입력해주십시오 .
예 마크 외형 형상 타입
X
X
Y
Y
지름의 길이를 입력한다.
각변의 길이를 입력한다.
한 변의 길이를 입력한다.
X의 길이를 「마크외형 X」로, Y의 길이
를 「마크외형 Y」에 입력한다.
마크 검출 범위내에 표시된 두 변중에 짧은
변의 길이를 입력한다.
원
사각형•장방형
정삼각형
특수형상
각 검출
마크 외형
67422-L3-00
C: 마크면적
이파라미터는 ,「형상타입」을「특수형상」으로설정했을때만표시됩니다 .마크의면적을mm 단위로입력하여주십시오 .
D: 마크 주변길이
이파라미터는 ,「형상타입」을「특수형상」으로설정했을때만표시됩니다 .
마크의주변길이를mm 단위로입력하여주십시오 .
n
요점
조명의 상태 등 환경에 의해 , 인식시의 값이 실측치와 달라서 , 에러가 나올 경우가 있습니다 . 그럴 경우 , 인식파라미터의
「마크 인식공차」를 크게 하거나 ,「마크 인식공차」를 일단 100% 로 설정하여 보조조정의 인식테스트를 실행해서 , 얻은 면적
과 주변길이 데이터를 입력합니다 . 데이터를 얻은 후는 , 「마크 인식공차」를 원래의 값으로 되돌려 주십시오 .
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7.4 인식 파라미터
「인식」탭을 선택하면 아래의 인식 파라미터를 설정할 수 있습니다 .
인식 파라미터
68430-L3- 00
A: 표면타입
마크표면과기판 ( 마크주위 ) 과의명암관계를설정합니다 .아래표를참고하여주십시오 .
비 반사체
기판보다 마크가 어두움
반사체
기판보다 마크가 밝음
설 정
밝음 비교
인식상태
기판
마크
기판
마크
표면 타입
67424-L3-00
B: 인식타입
인식타입에는다음의5 종류가있습니다 .
ㆍ 일 반
패턴이외의모든형상타입에대하여이인식타입을사용합니다 .
단 ,이방법으로인식할수없을경우는다른인식방법을시도하여주십시오 .
ㆍ 특 수 1
「일반적」으로는인식할수없는마크에대하여사용하여주십시오 .
ㆍ 특 수 2
「일반」으로는인식할수없는마크로 ,잘린부분이있는마크에대하여사용하여주십시오 .
ㆍ패턴윤곽 ,패턴값 ,패턴전체
패턴으로등록할마크에만사용합니다 .
상세는제 6 장「2. 패턴매칭」을참조하여주십시오 .
C: 마크 경계값
마크를인식할때의2 진화화면의기준치입니다 . 뒷부분의보조조정으로최적화합니다 .
D: 마크인식공차 (%)
설정된마크면적값과실제로인식되었을때의면적치의오차를 ,어느정도까지허용하는지를% 로설정합니다 .
권장치는「30」입니다 .
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E, F: 마크 검출범위 X, 마크 검출범위 Y
마크외형+3.00mm 를기준으로합니다.예를들면,아래그림과같이마크의외형이1mm 일경우4mm 를입력합니다.
다만 ,마크이외의패턴 ( 레지스트ㆍ실크ㆍ기타 ) 도검출되면 ,마크검출범위위치를작게해서 ,마크만검출되도록설정하
여주십시오 .
마크 검출범위 예
마크 검출범위
마크
패턴
1mm
4mm
4mm
4mm
2.5mm
6742 5-L3-00
c
주의
마크검출범위Y 에"0" 이입력된경우마크검출범위X 의정방형내에서마크인식이실행됩니다 .
G~K: 조명레벨
마크를인식할때의조명은몇개의영역으로나뉘어져있습니다 .
각각의영역의조명레벨이여기에설정되어있습니다 .후반부의보조조정으로최적화합니다 .
L, M: 마크 외 , 마크 내 노이즈 컷트 수
마크화상을2 진화하여인식했을때 ,마크의외측또는내측에노이즈로서나타나는부분을컷트하기위한값입니다 .
후반부의보조조정으로최적치를구해서입력합니다 .