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4-37 4 E, F: 마크 검 출범위 X, 마크 검출 범위 Y 마크외 형+ 3.0 0m m 를기준 으로합니다 .예 를들면 ,아래그 림과같이마크의외 형 이1 mm 일경우4mm 를입력 합니 다 . 다만 ,마크 이외 의패 턴 ( 레지 스트 ㆍ 실 크 ㆍ 기 타 ) 도검출 되면 ,마크검 출범위위 치 를작 게해 서 ,마크 만검 출되 도 록설 정 하 여…
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7.4 인식 파라미터
「인식」탭을 선택하면 아래의 인식 파라미터를 설정할 수 있습니다 .
인식 파라미터
68430-L3- 00
A: 표면타입
마크표면과기판 ( 마크주위 ) 과의명암관계를설정합니다 .아래표를참고하여주십시오 .
비 반사체
기판보다 마크가 어두움
반사체
기판보다 마크가 밝음
설 정
밝음 비교
인식상태
기판
마크
기판
마크
표면 타입
67424-L3-00
B: 인식타입
인식타입에는다음의5 종류가있습니다 .
ㆍ 일 반
패턴이외의모든형상타입에대하여이인식타입을사용합니다 .
단 ,이방법으로인식할수없을경우는다른인식방법을시도하여주십시오 .
ㆍ 특 수 1
「일반적」으로는인식할수없는마크에대하여사용하여주십시오 .
ㆍ 특 수 2
「일반」으로는인식할수없는마크로 ,잘린부분이있는마크에대하여사용하여주십시오 .
ㆍ패턴윤곽 ,패턴값 ,패턴전체
패턴으로등록할마크에만사용합니다 .
상세는제 6 장「2. 패턴매칭」을참조하여주십시오 .
C: 마크 경계값
마크를인식할때의2 진화화면의기준치입니다 . 뒷부분의보조조정으로최적화합니다 .
D: 마크인식공차 (%)
설정된마크면적값과실제로인식되었을때의면적치의오차를 ,어느정도까지허용하는지를% 로설정합니다 .
권장치는「30」입니다 .
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E, F: 마크 검출범위 X, 마크 검출범위 Y
마크외형+3.00mm 를기준으로합니다.예를들면,아래그림과같이마크의외형이1mm 일경우4mm 를입력합니다.
다만 ,마크이외의패턴 ( 레지스트ㆍ실크ㆍ기타 ) 도검출되면 ,마크검출범위위치를작게해서 ,마크만검출되도록설정하
여주십시오 .
마크 검출범위 예
마크 검출범위
마크
패턴
1mm
4mm
4mm
4mm
2.5mm
6742 5-L3-00
c
주의
마크검출범위Y 에"0" 이입력된경우마크검출범위X 의정방형내에서마크인식이실행됩니다 .
G~K: 조명레벨
마크를인식할때의조명은몇개의영역으로나뉘어져있습니다 .
각각의영역의조명레벨이여기에설정되어있습니다 .후반부의보조조정으로최적화합니다 .
L, M: 마크 외 , 마크 내 노이즈 컷트 수
마크화상을2 진화하여인식했을때 ,마크의외측또는내측에노이즈로서나타나는부분을컷트하기위한값입니다 .
후반부의보조조정으로최적치를구해서입력합니다 .
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7.5 보조조정을 실행한다
등록한 마크의 설정치가 적절한지 확인하는 작업입니다 . 미설정 파라미터에 대해서는 인식테스트를 하면서
최적치를 구합니다 .
1
마크데이터를 선택합니다 .
마크화면의상부리스트중확인하고자하는데이터행에커서를맞춥니다 .
2
[ 마크조정 ] 버튼을 눌러서 마크조정 화면을 표시합니다 .
마크조정 화면
68431-L3-0 0
3
기판을 컨베이어상에 반입해서 고정합니다 .
[ 기판반입 ] 버튼을누르고화면의메시지에따라실행해주십시오 .마스크피듀셜의경우는마스크를
인쇄부에클램프합니다 .
4
마크를 트레이스합니다 .
1. [ 트레이스 ] 버튼을누릅니다 .
「트레이스」대화창이열립니다 .
2. [OK] 버튼을누르고선택된마크위치에대한트레이스를실행합니다 .
기판피듀셜마크의경우는기판이기판용카메라의바로밑으로이동하고 ,마스크피듀셜마크의
경우는마스크용카메라가마스크마크의바로밑으로이동합니다 .
「트레이스」대화창
68432-L3- 00
참고
트레이스나 티칭기능에 대한 자세한 내용은 제 6 장「1. 티칭과 트레이스」를 참조해 주십시오 .