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4-38 4 7. 5 보 조 조정을 실 행한다 등 록한 마크 의 설정 치가 적 절 한지 확인 하 는 작 업 입 니다 . 미설정 파라미터 에 대 해서는 인 식 테스 트를 하면 서 최 적치 를 구합니 다 . 1 마크데이터를 선택합니다 . 마크화면 의상부리 스트중확인 하 고자하 는데 이 터행 에커 서 를맞춥 니 다 . 2 [ 마크 조정 ] 버튼 을 눌러서 마크 조정 화 면을 표 시합…
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E, F: 마크 검출범위 X, 마크 검출범위 Y
마크외형+3.00mm 를기준으로합니다.예를들면,아래그림과같이마크의외형이1mm 일경우4mm 를입력합니다.
다만 ,마크이외의패턴 ( 레지스트ㆍ실크ㆍ기타 ) 도검출되면 ,마크검출범위위치를작게해서 ,마크만검출되도록설정하
여주십시오 .
마크 검출범위 예
마크 검출범위
마크
패턴
1mm
4mm
4mm
4mm
2.5mm
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c
주의
마크검출범위Y 에"0" 이입력된경우마크검출범위X 의정방형내에서마크인식이실행됩니다 .
G~K: 조명레벨
마크를인식할때의조명은몇개의영역으로나뉘어져있습니다 .
각각의영역의조명레벨이여기에설정되어있습니다 .후반부의보조조정으로최적화합니다 .
L, M: 마크 외 , 마크 내 노이즈 컷트 수
마크화상을2 진화하여인식했을때 ,마크의외측또는내측에노이즈로서나타나는부분을컷트하기위한값입니다 .
후반부의보조조정으로최적치를구해서입력합니다 .
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7.5 보조조정을 실행한다
등록한 마크의 설정치가 적절한지 확인하는 작업입니다 . 미설정 파라미터에 대해서는 인식테스트를 하면서
최적치를 구합니다 .
1
마크데이터를 선택합니다 .
마크화면의상부리스트중확인하고자하는데이터행에커서를맞춥니다 .
2
[ 마크조정 ] 버튼을 눌러서 마크조정 화면을 표시합니다 .
마크조정 화면
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3
기판을 컨베이어상에 반입해서 고정합니다 .
[ 기판반입 ] 버튼을누르고화면의메시지에따라실행해주십시오 .마스크피듀셜의경우는마스크를
인쇄부에클램프합니다 .
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마크를 트레이스합니다 .
1. [ 트레이스 ] 버튼을누릅니다 .
「트레이스」대화창이열립니다 .
2. [OK] 버튼을누르고선택된마크위치에대한트레이스를실행합니다 .
기판피듀셜마크의경우는기판이기판용카메라의바로밑으로이동하고 ,마스크피듀셜마크의
경우는마스크용카메라가마스크마크의바로밑으로이동합니다 .
「트레이스」대화창
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참고
트레이스나 티칭기능에 대한 자세한 내용은 제 6 장「1. 티칭과 트레이스」를 참조해 주십시오 .
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5
트레이스 위치를 확인합니다 .
화면의중앙커서와마크가아래의표와같은관계로되어있음을확인하십시오 .위치가어긋난경우는
[ 인쇄 ]-「기판」탭（또는 [ 인쇄 ]-「마스크」탭을열고）마크좌표를다시티칭해주십시오 .
형상타입 티칭위치 예
원, 정방형, 정삼각형, 특수형상
각 검출
선단 검출
원 끝검출
마크의 중심
각부
선단의 변 중심
선단의 원 중심
：중앙커서
마크 트레이스 위치
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조명레벨을 조정합니다 .
[ 마크조명 ] 버튼을누르고화면에표시된마크가선명하게보이도록최적조명레벨을설정해주십시오 .
조정후는[ 닫기 ] 버튼을누릅니다 .
조명레벨의 조정
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참고
조명레벨은 기판이나 마스크프레임의 재질이나 마크의 소재에 따라 조정할 필요가 있습니다 . 아래의 방법을 참고해서 최적한
조명을 찾으십시오 .
1. 일단 모든 조명을 OFF 로 합니다 .
2. 「외륜」「내륜」「동축」「IR 내륜」「IR 외륜」의 조명을 하나씩 최대 레벨로 점등시켜서 그 효과를 봅니다 .
3. 효과가 있는 조명을 조합해서 , 각 레벨을 조정합니다 .
또한 일반적인 기준으로 기판마크에는 다음의 조명이 효과적입니다 .
• 평평하고 경면으로 된 마크：「동축」이 유효합니다 .
• 평평하고 산화동박을 사용한 마크：「IR 내륜」이 유효합니다 .
•표면이 균일하지 않아서 난반사하는 마크：「IR 외륜」「IR 내륜」이 유효합니다 .