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4-39 4 5 트레이스 위치를 확 인 합 니다 . 화면의중 앙커서 와마크가아래 의표와같은관 계 로되어 있음을확인 하십시 오 .위 치 가어 긋 난경 우는 [ 인 쇄 ] - 「기 판」탭 (또 는 [ 인쇄 ] - 「마 스크 」탭 을열 고 )마크좌표 를다시티 칭 해주십 시 오 . 형상타입 티칭위치 예 원, 정방형, 정삼각형, 특수형상 각 검출 선단 검출 원 끝검출 마…

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7.5 보조조정을 실행한다
등록한 마크의 설정치가 적절한지 확인하는 작업입니다 . 미설정 파라미터에 대해서는 인식테스트를 하면서
최적치를 구합니다 .
1
마크데이터를 선택합니다 .
마크화면의상부리스트중확인하고자하는데이터행에커서를맞춥니다 .
2
[ 마크조정 ] 버튼을 눌러서 마크조정 화면을 표시합니다 .
마크조정 화면
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3
기판을 컨베이어상에 반입해서 고정합니다 .
[ 기판반입 ] 버튼을누르고화면의메시지에따라실행해주십시오 .마스크피듀셜의경우는마스크를
인쇄부에클램프합니다 .
4
마크를 트레이스합니다 .
1. [ 트레이스 ] 버튼을누릅니다 .
「트레이스」대화창이열립니다 .
2. [OK] 버튼을누르고선택된마크위치에대한트레이스를실행합니다 .
기판피듀셜마크의경우는기판이기판용카메라의바로밑으로이동하고 ,마스크피듀셜마크의
경우는마스크용카메라가마스크마크의바로밑으로이동합니다 .
「트레이스」대화창
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참고
트레이스나 티칭기능에 대한 자세한 내용은 제 6 장「1. 티칭과 트레이스」를 참조해 주십시오 .

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5
트레이스 위치를 확인합니다 .
화면의중앙커서와마크가아래의표와같은관계로되어있음을확인하십시오 .위치가어긋난경우는
[ 인쇄 ]-「기판」탭(또는 [ 인쇄 ]-「마스크」탭을열고)마크좌표를다시티칭해주십시오 .
형상타입 티칭위치 예
원, 정방형, 정삼각형, 특수형상
각 검출
선단 검출
원 끝검출
마크의 중심
각부
선단의 변 중심
선단의 원 중심
:중앙커서
마크 트레이스 위치
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6
조명레벨을 조정합니다 .
[ 마크조명 ] 버튼을누르고화면에표시된마크가선명하게보이도록최적조명레벨을설정해주십시오 .
조정후는[ 닫기 ] 버튼을누릅니다 .
조명레벨의 조정
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참고
조명레벨은 기판이나 마스크프레임의 재질이나 마크의 소재에 따라 조정할 필요가 있습니다 . 아래의 방법을 참고해서 최적한
조명을 찾으십시오 .
1. 일단 모든 조명을 OFF 로 합니다 .
2. 「외륜」「내륜」「동축」「IR 내륜」「IR 외륜」의 조명을 하나씩 최대 레벨로 점등시켜서 그 효과를 봅니다 .
3. 효과가 있는 조명을 조합해서 , 각 레벨을 조정합니다 .
또한 일반적인 기준으로 기판마크에는 다음의 조명이 효과적입니다 .
• 평평하고 경면으로 된 마크:「동축」이 유효합니다 .
• 평평하고 산화동박을 사용한 마크:「IR 내륜」이 유효합니다 .
•표면이 균일하지 않아서 난반사하는 마크:「IR 외륜」「IR 내륜」이 유효합니다 .

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[ 적정값 검색 ] 버튼을 누르고 마크의 최적 경계값을 구합니다 .
마크화상을2 진화할때의최적경계값이검색되고결과가표시됩니다 .에러가발생한경우는아래의
조작을실행하십시오 .
1. [ 취소 ] 버튼을누르고마크화면으로돌아가「마크타입」「형상타입」「인식타입」등의파라미터가
올바르게설정되었는지확인합니다 .
2. 조명레벨의조정을재확인합니다 .
3. 다시[ 적정값검색 ] 버튼을누르고최적경계값을구합니다 .
8
[ 인식테스트 ] 버튼을 누르고 마크 인식테스트를 실행합니다 .
인식테스트결과가성공하면보조조정은완료입니다 .
에러가발생한경우는[ 결과화상 ] 버튼을누르고마크의2 진화상을표시하고실제마크형상과가장가
까워지게아래의표를참고로조정해주십시오 .
2진화된 마크화상
마크의 2진화상과 경계값 조정
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상 태 이미지 대 책
보조조정항목의 「마크 내 노이즈컷
수」의 수치를 올린다
보조조정항목의 「마크 외 노이즈컷
수」의 수치를 올린다
「마크검출범위」를 작게 한다
마크가 비칠 때까지 실행하십
시오.
마크가 비칠 때까지 실행하십
시오.
인식시간이 걸립니다.
인식시간이 걸립니다.
▲
+10
▲
+1
▼
-10
▼
-1
인식조정 사항
비 고
전체가 하얗다
전체가 검다
마크 내부에 노이즈
마크 외부에 노이즈
검출 범위내에 마크와
다른 것이 비치고 있다
또는 키를 사용하고 분별치를
올린다
또는 키를 사용하고 분별치를
내린다
인식파라미터의 「마크 검출범
위」항목을 참조 하십시오.
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인식테스트를 재실행합니다 .
[ 인식테스트 ] 버튼을누르고인식테스트를재실행합니다 .여러번인식테스트를실행하고결과가성공
하면보조조정은완료입니다 .
0
[OK] 버튼을 누르고 조정데이터를 저장합니다 .
보조조정화면이닫히고마크화면으로돌아갑니다 .
q
다른 마크도 같은 방법으로 보조 조정합니다 .