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6-10 6 2 .1 패 턴등 록 패턴 매 칭 에 사 용하 는 패턴을 등록하 는 방법 을 설 명 합니다 . 1 패턴매 칭 에 사 용하 는 패턴을 결정합니다 . 앞페 이 지 의패 턴 조 건 을참 조 하 여주십 시 오 . 2 마크 정보 화면에 패턴명칭을 입력 합니다 . 마크화면 의데 이 터 를등록 할행 의 「명칭 」 란 에패 턴 이 라 고구분할수있 도 록명 칭 을입 력…

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2. 패턴매칭
패턴매칭이란 ,기판이나마스크상의특정패턴의화상을첨부로등록하고그형상과실제로인식된패턴을비교
한결과에서기판이나마스크의고정기구에서발생하는오차나틀어짐을보정하는기능입니다 .기판이나마스
크상에피듀셜마크가없거나있는경우라도YAMAHA 가권장하는마크에해당되지않아서피듀셜기능을사용
할수없는경우에유효합니다 .
패턴등록을하는형상에제한은없으나다음조건에맞는패턴을선택하십시오 .또한패턴화상은모니터화면의
1/4 정도로해주십시오 .
•
명암대비가명확할것 .
（패턴의윤곽이뚜렷하면된다 .）
•
2 점 ( 동일점은불가）이대각선상에설치되어있어야한다 .
NG
OKOK
OK OK
명암대비가 낮다
기판 또는 마스크 기판 또는 마스크
패턴
패턴
패턴조건
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n
요점
패턴매칭의 인식은 , 일반적인 마크인식에 비하여 시간이 걸립니다 . 또한 , 원과 사각 등의 마크인식에 비하여 정밀도가 약간
떨어집니다 . 인식정보의「인식타입」을「일반」으로 설정해서 인식할 수 있는 마크에 대해서는 사용할 필요가 없습니다 .
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2.1 패턴등록
패턴매칭에 사용하는 패턴을 등록하는 방법을 설명합니다 .
1
패턴매칭에 사용하는 패턴을 결정합니다 .
앞페이지의패턴조건을참조하여주십시오 .
2
마크정보 화면에 패턴명칭을 입력합니다 .
마크화면의데이터를등록할행의「명칭」란에패턴이라고구분할수있도록명칭을입력하여주십시오 .
패턴명칭의 입력
패턴의 명칭을 입력한다
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3
「마크타입」을 설정합니다 .
「기본」탭화면의「마크타입」에서기판피듀셜마크를작성할때는「기판피듀셜」로 ,마스크피듀셜
마크를작성할때는「마스크피듀셜」로설정합니다 .
「마크타입」의 설정
마크타입을 설정한다
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4
「인식타입」을 설정합니다 .
「인식」탭을열어서「인식타입」을「패턴윤곽」또는「패턴다치」로설정합니다 .
패턴윤곽
：
패턴매칭을실행할경우는 ,일반적으로이설정으로합니다 .
패턴의내부명암에얼룩이있는경우도 ,이패턴의윤곽이확실하면인식가능합니다 .
패턴다치
：
패턴의내부명암이균등할경우에설정합니다 .
패턴전체를인식하기때문에「패턴윤곽」보다도인식시간이걸리고 ,데이터사이즈도커집니다 .
패턴 전체
：
패턴을상세설정하게넣고싶을경우에유효합니다 .패턴전체를인식하여 ,압축율이낮으므로「패턴값」
보다도인식시간이걸리고 ,데이터사이즈도커지게됩니다 .
「인식타입」의 설정
「패턴윤곽」「패턴다치」또는「패턴전체」로 설정한다
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패턴의 인식타입
패턴윤곽 패턴값
내부에 얼룩이 있지만
윤곽이 확실하게 보인다
내부가 균일
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5
[ 마크조정 ] 버튼을 눌러서 마크조정 화면을 표시합니다 .
「마크조정」화면
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