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6-23 6 4.6 [ 장치 ] - 「I/ O 」탭 화 면 [ 장 치 ]- 「I / O 」탭 화면 에 서는 I / O 신 호 상태를 확인 하 거나 O N/ O FF 조작을 할 수 있습니 다 . 화면내용에 대해 설 명 합니다 . 「장치」-「I/O」탭 화면 3 1 5 6 2 7 4 68622-L3-0 0 ■ 항 목 , 조작 버튼 항목 / 버튼명 기능 1 장치선택 (Output) 출력 신호 상태를…
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4.5 [ 장치 ]-「클리너」탭 화면
[ 장치 ]-「클리너」탭 화면에서는 클리너 유니트를 수동으로 조작할 수 있습니다 . 또한 클리너의 센서상태
를 그래픽상에서 확인할 수도 있습니다 . 화면상의 각 버튼의 기능에 대해 설명합니다 .
「장치」-「클리너」탭 화면
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■ 조작버튼
버튼명 기능
1 [ 축 이동 ] 버튼 「축 이동」 화면이 표시됩니다 .( 본 장 「4.1」 참조 )
2 [ 자동 클리닝 ] 버튼 마스크 뒷면을 자동으로 클리닝합니다 .
3 [ 수동 클리닝 ] 버튼 마스크 뒷면을 손으로 클리닝 할 때는 이 버튼을 누릅니다 .
4 [ 용제펌프 ] 버튼 클리닝용 용제를 거즈에 토출합니다 .
5 [ 클리너 상승 / 하강 ] 버튼 클리너 유니트를 상승 / 하강시킵니다 .
6 [ 거즈 되감기 ] 버튼 거즈롤 ( 하단 롤 ) 을 일정한 피치로 되감습니다 .
7 [ 롤 고정 ] 버튼 거즈롤의 되감기 축의 고정을 해제합니다 . 재차 버튼을 누르면 되감기 축이 고정됩니다 .
8 거즈 보내기 거즈롤 ( 상단 롤 ) 을 일정 피치로 보냅니다 .
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4.6 [ 장치 ]-「I/O」탭 화면
[ 장치 ]-「I/O」탭 화면에서는 I/O 신호상태를 확인하거나 ON/OFF 조작을 할 수 있습니다 . 화면내용에
대해 설명합니다 .
「장치」-「I/O」탭 화면
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68622-L3-0 0
■ 항목 , 조작버튼
항목 / 버튼명 기능
1 장치선택 (Output) 출력신호 상태를 표시할 장치를 드롭다운 리스트에서 선택합니다 .
2 출력신호의 상태
디지털 출력신호의 상태가 2 진수 (1 과 0) 로 표시됩니다 .
각 신호는 「T00275」 와 같이 문자와 숫자로 구성된 기호로 나타냅니다 .
각 신호를 선택할 때는 마우스로 2 진수의 그리드부를 클릭하거나 [ 화살표 ] 버튼으로
커서를 이동해 주십시오 .
3 [ON/OFF] 버튼
이 버튼을 누르면 커서로 선택된 출력신호가 ON/OFF 됩니다 .
([8bit ON/OFF] 버튼은 현재 미사용 )
4 출력신호의 설명부 커서로 선택된 출력 신호명과 "0" 과 "1" 의 의미가 표시됩니다 .
5 장치선택 (Input) 입력신호 상태를 표시시킬 장치를 드롭다운 리스트에서 선택합니다 .
6 입력신호의 상태
디지털 입력신호의 상태가 2 진수 (1 과 0) 로 표시됩니다 .
각 신호는 「N005E0」 와 같이 문자와 숫자로 구성된 기호로 나타냅니다 .
각 신호를 선택할 때는 마우스로 2 진수의 그리드부를 클릭하거나 [ 화살표 ] 버튼으로
커서를 이동합니다 .
7 입력신호의 설명부 커서로 선택된 입력 신호명과 "0" 과 "1" 의 의미가 표시됩니다 .
제 7 장 소모품의 교환
이장에서는클리닝용거즈롤등의소모품의교환방법에대해설명합니다 .
작업을할때는본장「1. 주의사항」의지시를반드시지켜주십시오．
목차
1. 주의 사항 7-1
2. 스퀴지의 교환 7-2
2.1 유니트 교환 7-2
2.2 스퀴지 스크레이퍼부의 교환 7-3
2.2.1 메탈스퀴지의스크레이퍼부 7-3
2.2.2 우레탄스퀴지의스크레이퍼부 7-4
3. 클리닝용 거즈 롤의 교환 7-6
3.1 동일 롤 사이즈를 사용할 경우 7-7
3.2 롤 사이즈를 변경할 경우 7-8
4. 클리닝용 용제 7-10
4.1 용제 사용상의 주의 사항 7-10
4.2 용제의 보급방법 7-10
4.3 장기보관할 경우의 작업방법 7-12
5. 흡인 블로워 유니트 7-13
5.1 필터의 교환 7-13
5.2 블로워 호스의 교환 7-14
5.2 마스크 흡착 필터의 청소와 교환 7-16
6. 컨베이어 벨트의 교환 7-17
6.1 반입
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반출 컨베이어 7-17
6.2 기판 고정부 ( 기판 테이블 ) 7-20