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7-21 7 4 텐셔 너의 위치를 마 킹합니다 . 벨 트의텐션 을풀 기전에 ,텐셔 너 ( 풀리 ) 고정  볼 트의위치 를유성펜 으 로마킹 합니 다 . 67732 - L 3 - 0 0 5 벨 트 의 텐션을 느슨하게 합니다 . 1 . 육각렌치2 개 로텐션 이결 려있 는풀리 의  고 정 볼 트 를풀어주 십 시 오 .  풀 리쪽 : 육 각 렌치 5 m m  고 정…

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6.2 기판 고정부 ( 기판 테이블 )
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준비물
•
육각렌치 (3mm,4mm,5mm)
•
십자드라이버
•
유성펜
•
얇은브러시
•
헤라 ( 플라스틱 )
•
교환용컨베이어벨트 ( 제 8 장「2.2.1정기점검시의교환방법」을참조 )
1
컨베이어 폭을 작업하기 수월한 폭으로
변경합니다 .
1. [ 컨베이어폭 ] 버튼을눌러서컨베이어폭
변경대화창을표시합니다 .
2.「변경후의컨베이어폭」란에육각렌치가들어
갈정도의수치를입력하고[OK] 버튼을누릅
니다 .
컨베이어가지정된폭으로변경됩니다 .
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e
2
비상정지 버튼을 누르고 , 상부도어를
오픈합니다 .
작업을안전하게실시하기위해 ,반드시장비를
비상정지상태로해주십시오 .
3
마스크 가이드 플레이트를 탈착합니다 .
1. 마스크클램프부의좌우에있는클램프가이
드플레이트를탈착합니다 .
2. 육각렌치 (3mm) 로고정볼트 (4 개 ) 를분리해
서우측의마스크가이드플레이트를탈착합니
다 .같은식으로좌측의마스크가이드플레이
트도탈착해주십시오 .
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컨베이어 폭의 변경
Step 1
마스크 가이드 플레이트의 탈착
Step 3
볼트마스크 가이드 플레이트
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텐셔너의 위치를 마킹합니다 .
벨트의텐션을풀기전에 ,텐셔너 ( 풀리 ) 고정
볼트의위치를유성펜으로마킹합니다 .
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벨트의 텐션을 느슨하게 합니다 .
1. 육각렌치2 개로텐션이결려있는풀리의
고정볼트를풀어주십시오 .
풀리쪽 : 육각렌치 5mm
고정볼트쪽 : 육각렌치 4mm
2. 텐셔너 ( 풀리 ) 를긴구멍끝까지 ( 푸는방향 )
이동시킵니다 .
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벨트를 분리합니다 .
1. 육각렌치 (3mm) 로벨트구동용풀리의고정
볼트를풀고 ,커플링을장비의뒤쪽으로슬라
이드시킵니다 .
2. 벨트를풀리에서빼고샤프트와의틈새로부터
탈거해주십시오 .
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마킹과 벨트 풀기
Step 4,5
텐셔너(풀리) 고정볼트
육각렌치 (4mm) 육각렌치 (5mm)
유성펜으로 마킹
텐셔너 (풀리)
Step 6
벨트의 분리
육각렌치 (2.5mm)벨트를 빼는 틈새
장비의 안쪽으로 슬라이드 시킨다 커플링
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벨트 가이드와 풀리를 청소합니다 .
1. 벨트의가이드나센서부등에부착되어있는
벨트의마모가루를버큠 ASSY( 옵션 ) 로흡인
합니다 .
2. 풀리의외주면에벨트의마모가루가부착되어
있을경우는 ,플라스틱헤라등으로제거해주
십시오 .
3. 벨트가이드부에마모가루가들어가있을
경우에는 ,브러시등으로제거합니다 .
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새로운 벨트를 장착합니다 .
1. 새로운벨트를풀리에임시로걸어둡니다 .
2. 커플링을원위치로되돌리고 ,볼트를체결합니
다.
3. 텐셔너(풀리 ) 를마킹한위치까지이동시키고 ,
볼트를체결합니다 .
4. 벨트가늘어져있을경우는 ,텐셔너 ( 풀리 ) 의
위치를조정해서벨트에텐션을걸어주십시
오.
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c
주의
풀리고정볼트의체결토르크는 ,5.5N
•
m 입니다 .
너무심하게조이지않도록주의해주십시오 .
n
요점
본체 장비의 컨베이어 벨트의 테션 규격은 다음과 같습니
다 . 필요에 따라 텐션 조정기를 사용해서 조정해 주십시오 .
• 기판 고정부 ( 기판 테이블 ) :519~554Hz
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벨트의 장착 상태를 확인합니다 .
1. 비상정지를해제합니다 .
2. [ 장치 ]-「컨베이어」탭의[ 기판반입 ],
[ 기판반출 ] 버튼으로기판을반송시켜서동작
상태를확인해주십시오 .
3. 모터풀리의슬립및벨트의회전이불규칙하
거나 ,늘어짐이심할경우는 ,텐셔너 ( 풀리 )
의위치를조정하고 ,재차기판을반송시켜서
확인해주십시오 .
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마스크 가이드 플레이트를 원상태로
장착합니다 .
가이드・풀리의 청소
Step 7
풀리 외주면 벨트 가이드
브러시헤라(플라스틱)벨트 마모가루
부착 상태
벨트의 텐션 걸기
Step 8
텐셔너(풀리) 고정볼트
육각렌치 (4mm)
육각렌치 (5mm)
마킹한 위치에 맞춘다
텐셔너 (풀리)
벨트 텐션 측정위치