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8-10 8 • • 6 텐셔 너 ( 풀 리 ) 의 고정볼트를 체결합 니다 . 컨베 이어벨 트가느 슨 할경 우에는 ,텐셔 너 ( 풀리 ) 의위 치 를조정 하 고고 정 볼 트를체 결 해주십시 오 . c 주의  풀리고 정 볼 트의체결토르크 는 ,5.5N • m 입니다 .  너 무심 하게조 이 지않도 록주 의 해주십시 오 . n 요점 본체 장비의 컨 베 이어 벨트…

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•
•
2.3.2 기판 고정부 ( 기판 테이블 )
█
준비물
•
육각렌치 (3mm,4mm,5mm)
1
컨베이어 폭을 작업하기 수월한 폭으로
변경합니다 .
1. [ 컨베이어폭 ] 버튼을눌러서컨베이어폭
변경대화창을표시합니다 .
2.「변경후의컨베이어폭」란에육각렌치가들어
갈정도의수치를입력하고[OK] 버튼을누릅
니다 .
컨베이어가지정된폭으로변경됩니다 .
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e
2
비상정지 버튼을 누르고 , 상부도어를
오픈합니다 .
작업을안전하게실시하기위해 ,반드시장비를
비상정지상태로해주십시오 .
3
마스크 가이드 플레이트를 탈착합니다 .
1. 마스크클램프부의좌우에있는클램프가이
드플레이트를탈착합니다 .
2. 육각렌치 (3mm) 로고정볼트 (4 개 ) 를분리해
서우측의마스크가이드플레이트를탈착합니
다 .같은식으로좌측의마스크가이드플레이
트도탈착해주십시오 .
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4
벨트의 텐션을 느슨하게 합니다 .
1. 육각렌치2 개로텐션이결려있는풀리의
고정볼트를풀어주십시오 .
풀리쪽 : 육각렌치 5mm
고정볼트쪽 : 육각렌치 4mm
2. 텐셔너 ( 풀리 ) 를긴구멍끝까지 ( 푸는방향 )
이동시킵니다 .
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벨트의 텐션을 조정합니다 .
텐션을강하게할경우는 ,텐셔너 ( 풀리 ) 의고정
볼트체결위치를본체의안쪽방향으로 ,약하게
할경우는바깥방향으로슬라이드시켜주십시오 .
컨베이어 폭의 변경
Step 1
마스크 가이드 플레이트의 탈착
Step 3
볼트마스크 가이드 플레이트
벨트의 텐션 조정
Step 4,5
텐셔너(풀리) 고정볼트
육각렌치 (4mm)
육각렌치 (5mm)텐셔너 (풀리)
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•
•
6
텐셔너 ( 풀리 ) 의 고정볼트를 체결합
니다 .
컨베이어벨트가느슨할경우에는 ,텐셔너 ( 풀리 )
의위치를조정하고고정볼트를체결해주십시오 .
c
주의
풀리고정볼트의체결토르크는 ,5.5N
•
m 입니다 .
너무심하게조이지않도록주의해주십시오 .
n
요점
본체 장비의 컨베이어 벨트의 테션 규격은 다음과 같습니
다 . 필요에 따라 텐션 조정기를 사용해서 조정해 주십시오 .
• 기판 고정부 ( 기판 테이블 ) :519~554Hz
7
벨트의 장착 상태를 확인합니다 .
1. 비상정지를해제합니다 .
2. [ 장치 ]-「컨베이어」탭의[ 기판반입 ],
[ 기판반출 ] 버튼으로기판을반송시켜서동작
상태를확인해주십시오 .
3. 모터풀리의슬립및벨트의회전이불규칙하
거나 ,늘어짐이심할경우는 ,텐셔너 ( 풀리 )
의위치를조정하고 ,재차기판을반송시켜서
확인해주십시오 .
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마스크 가이드 플레이트를 원상태로
장착합니다 .
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•
•
2.4 에어 / 미스트 필터의 점검
•
청소
에어 컴프레서내의 오일 , 물 , 불순물 등이 장비 안으로 유입되지 않도록 , 에어 / 미스트 필터가 사용되고
있습니다 . 이들 필터의 점검•청소방법을 다음과 같이 설명합니다 . ( 에어 커플러에 가까운 쪽이 에어필터 ,
먼 쪽이 미스트 필터입니다 .)
c
주의
작업을안전하게실시하기위해 ,에어커플러를분리해둡니다 .이때 ,오일 ,물 ,불순물등이튀지않도록주의해주십시오 .
또한 ,커플러를분리할때에어배기음이크게소리나므로주의해주십시오 .
■ 준비물
•
중성세제
•
에어블로우툴 ( 옵션구입품 )
•
와이퍼
•
교환용에어필터
(KHW-M8501-10X ELEMENT)
•
교환용미스트필터
(KHW-M8501-20X MANTLE)
c
주의
청소시 ,에어블로우가얼굴에맞닿을경우가있으므로 ,에어블로우를할때에는보호안경과보호마스크를착용해주십시오 .
■ 필터 컵의 청소
1
필터 컵 안을 체크합니다 .
컵안에오일또는물이들어있지않은지확인해주십시오 .오염되어있을경우는 ,아래의순서에따라
서청소하여주십시오 .
참고
컵 하단의 드레인콕은 , 오토드레인 타입입니다 . 컵 안에 오일이나 물이 차면 자동적으로 배출되므로 , 호스 등을 연결할 것을
권장합니다 .
2
필터 컵을 분리합니다 .
오일미스트필터는 ,컵의버튼을누르면서왼쪽으
로돌리고 ,에어필터는 ,그대로컵을왼쪽으로
돌려서 ,밑으로빼주십시오 .
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3
필터 컵 안의 더러움을 청소합니다 .
1. 필터컵을가볍게물세척합니다 .
2. 물을섞은중성세제로다시안을씻어냅니다 .
3. 에어블로우툴로에어블로우한후 ,와이퍼
등으로수분을닦습니다 .
4
필터 컵을 장착합니다 .
오일 미스트 필터의 장착
1. 필터컵의버튼을분리한위치에맞추고 ,필터
컵을위로올려서끼웁니다 .
2. 찰칵하고소리가날때까지컵을오른쪽으로
돌려주십시오 .
에어 필터의 장착
찰칵하고소리가날때까지컵을오른쪽으로돌려
주십시오 .
5
에어 커플러를 장착합니다 .
에어커플러를접속하고 ,에어가새지않는지확인해주십시오 .
n
요점
계속해서 필터청소를 할 경우는 , 필터 컵과 에어 커플러를 분리한 상태로 후술의「필터의 청소」를 실시해 주십시오 .
Step 2
필터컵의 분리
필터컵
에어 커플러 분리
에어 필터
버튼
오일 미스트 필터