YSP_Users_K - 第252页
A-3 A 1 .2. 1 PREVIOUS INTERF ACE 아래의 1 ~ 3 의 조건 이 갖추 어진 경 우에 , 기판반입을 시 작합니 다 . 1 . 본체 가기 판반입가 능한상태 (BU SYOUT :ON ) 2. 상류측장비 에서기 판반입신 호 를입 력 한상태 (BAIN[N0108 221 ] : ON ) 3. 상류측장비 에서자동운 전신 호를입 력 한상태 (UR…

A-2
A
1.2 기기간 입출력 커넥터
하류측 장비 및 상류측 장비와의 기판요구나 운전상태 등의 신호교환은 장비본체 측면하단의 NEXT
INTERFACE 와 PREVIOUS INTERFACE 커넥터로 실시합니다 .
NEXT INTERFACE 커넥터는 하류측 장비와 접속하고 PREVIOUS INTERFACE 커넥터는 로더 등
의 상류측 장비와 접속합니다 . 표준인「우→좌」 흐름에서는 본체 우측면에 PREVIOUS INTERFACE 가 ,
본체 좌측면에 NEXT INTERFACE 가 배치되어 있습니다 .
두 커넥터 모두 AMP 206043-1(14-pin•receptacle) 을 사용하고 있습니다 .
PREVIOUS INTERFACE NEXT INTERFACE
기기간 입출력 커넥터
Connector : AMP 206043-1 (14-pin receptacle)
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3
67 901-L3 -0 0

A-3
A
1.2.1 PREVIOUS INTERFACE
아래의 1~3 의 조건이 갖추어진 경우에 , 기판반입을 시작합니다 .
1.본체가기판반입가능한상태 (BUSYOUT:ON)
2.상류측장비에서기판반입신호를입력한상태 (BAIN[N0108221]:ON)
3.상류측장비에서자동운전신호를입력한상태 (URIN[N0108222]:ON)
n
요점
ㆍ 기판 반입중에 상류측 장비의 자동 운전중 신호(UR IN)가 OFF 한 경우 , 기판반입을 일시 정지합니다 .
ㆍ 반입중인 기판이 본체의 입구센서를 통과했다고 판단되었을 때는 , BUSY OUT 을 OFF 합니다 .
ㆍ BUSY OUT 과 BA IN 의 양쪽이 OFF 된 시점에서 반입을 종료합니다 .
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1
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3
BUSY OUT
(T01080E4)
+24V
+24V
LR OUT
(T01080E7)
UR IN
(N0108222)
BA IN
(N0108221)
I/O BOARD
PREVIOUS INTERFACE 커넥터
PREVIOUS INTERFACE 회로
반입중 입력
반출요구 출력
자동 운전중 출력
자동 운전중 입력
상류측 장비
본 장비 PREVIOUS INTERFACE
6790 2 -L 3-0 0
■ 기판반송 신호사양
PREVIOUSINTERFACE
Pin No. 신호명 입출력 사양 신호사양
1 BUSY OUT(T01080E4) 릴레이 접점 ( 무전압 ) 출력 기판 반입중 신호출력
2 BUSY OUT(T01080E4) 릴레이 접점 ( 무전압 ) 출력
3 +24V 입력공통 (+24V) 기판 반출요구 신호입력
4 BA IN(N0108221) 전압입력
5 비었음 ( 더미핀 있음 ) ( 오삽입 방지)
6~8 비었음
9 +24V 입력공통 (+24V) 자동 운전중 신호입력
10 UR IN(N0108222) 전압입력
11 LR OUT(T01080E7) 릴레이 접점 (무전압) 출력 자동 운전중 신호출력
12 LR OUT(T01080E7) 릴레이 접점 (무전압) 출력
13~14 비었음

A-4
A
1.2.2 NEXT INTERFACE
아래의 1~3 의 조건이 갖추어진 경우에 , 기판반출을 시작합니다 .
1.본체가기판반출가능한상태(BAOUT:ON)
2.하류측장비에서기판반입신호를입력한상태(BUSYIN[N0108220]:ON)
3.하류측장비에서자동운전신호를입력한상태(LRIN[N0108223]:ON)
n
요점
ㆍ 기판반출중에 후장비의 자동운전중 신호(LR IN) 가 OFF 한 경우는 기판의 반출을 일시 정지합니다 .
ㆍ 반출중인 기판이 본체의 출구센서를 통과했다고 판단될 경우 , BA OUT 을 OFF 합니다 .
ㆍ BUSY IN 과 BA OUT 의 양쪽이 OFF 된 시점에서 반출을 종료합니다 .
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BUSY IN
(N0108220)
+24V
+24V
UR OUT(T01080E6)
LR IN
(N0108223)
+24V
COUNT RESET
(N0108224)
BA OUT
(T01080E5)
I/O BOARD
GND
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1
NEXT INTERFACE 회로
본 장비
NEXT INTERFACE 회로
반입중 출력
반출요구 입력
자동 운전중 입력
자동 운전중 출력
GND
하류측 장비
NEXT INTERFACE
COUNT RESET 출력
67903-L3-0 0
■ 기판반송 신호사양
NEXTINTERFACE
Pin No. 신호명 입출력사양 신호사양
1 +24V 입력공통 (+24V) 기판반입중 신호입력
2 BUSY IN(N0108220) 전압입력
3 BA OUT(T01080E5) 릴레이 접점 ( 무전압 ) 출력 기판 반출요구 신호출력
4 BA OUT(T01080E5) 릴레이 접점 ( 무전압 ) 출력
5 비었음
6 비었음 ( 더미핀 있음 ) ( 오삽입 방지 )
7 GND
8 비었음
9 UR OUT(T01080E6) 릴레이 접점 ( 무전압 ) 출력 자동 운전중 신호출력
10 UR OUT(T01080E6) 릴레이 접점 ( 무전압 ) 출력
11 +24V 입력공통 (+24V) 자동 운전중 신호입력
12 LR IN(N0108223) 전압입력
13 +24V 입력공통 (+24V) COUNT RESET 신호입력
14 COUNT RESET(N0108224) 전압입력