YSP_Users_K - 第253页

A-4 A 1 .2.2 NE X T INTERF A CE 아래의 1 ~ 3 의 조건 이 갖추 어진 경 우에 , 기판반 출 을 시 작합니다 . 1 . 본체 가기 판반 출가능한상태 （BAO UT :ON ） 2. 하류측장비에 서기 판반 입신 호 를입 력 한상태 （B USYIN[N01 0 82 20] :ON ） 3. 하류측장비에 서자동 운전신 호 를입 력 한상…

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A-3
A
1.2.1 PREVIOUS INTERFACE
아래의 1~3 의 조건이 갖추어진 경우에 , 기판반입을 시작합니다 .
1.본체가기판반입가능한상태 (BUSYOUT:ON）
2.상류측장비에서기판반입신호를입력한상태 (BAIN[N0108221]:ON）
3.상류측장비에서자동운전신호를입력한상태 (URIN[N0108222]:ON）
n
요점
ㆍ 기판 반입중에 상류측 장비의 자동 운전중 신호（UR IN）가 OFF 한 경우 , 기판반입을 일시 정지합니다 .
ㆍ 반입중인 기판이 본체의 입구센서를 통과했다고 판단되었을 때는 , BUSY OUT 을 OFF 합니다 .
ㆍ BUSY OUT 과 BA IN 의 양쪽이 OFF 된 시점에서 반입을 종료합니다 .
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3
BUSY OUT
(T01080E4)
+24V
+24V
LR OUT
(T01080E7)
UR IN
(N0108222)
BA IN
(N0108221)
I/O BOARD
PREVIOUS INTERFACE 커넥터
PREVIOUS INTERFACE 회로
반입중 입력
반출요구 출력
자동 운전중 출력
자동 운전중 입력
상류측 장비
본 장비 PREVIOUS INTERFACE
6790 2 -L 3-0 0
■ 기판반송 신호사양
PREVIOUSINTERFACE
Pin No. 신호명 입출력 사양 신호사양
1 BUSY OUT(T01080E4) 릴레이 접점 ( 무전압 ) 출력 기판 반입중 신호출력
2 BUSY OUT(T01080E4) 릴레이 접점 ( 무전압 ) 출력
3 +24V 입력공통 (+24V) 기판 반출요구 신호입력
4 BA IN(N0108221) 전압입력
5 비었음 ( 더미핀 있음 ) ( 오삽입 방지）
6~8 비었음
9 +24V 입력공통 (+24V) 자동 운전중 신호입력
10 UR IN(N0108222) 전압입력
11 LR OUT(T01080E7) 릴레이 접점 （무전압） 출력 자동 운전중 신호출력
12 LR OUT(T01080E7) 릴레이 접점 （무전압） 출력
13~14 비었음
A-4
A
1.2.2 NEXT INTERFACE
아래의 1~3 의 조건이 갖추어진 경우에 , 기판반출을 시작합니다 .
1.본체가기판반출가능한상태（BAOUT:ON）
2.하류측장비에서기판반입신호를입력한상태（BUSYIN[N0108220]:ON）
3.하류측장비에서자동운전신호를입력한상태（LRIN[N0108223]:ON）
n
요점
ㆍ 기판반출중에 후장비의 자동운전중 신호（LR IN） 가 OFF 한 경우는 기판의 반출을 일시 정지합니다 .
ㆍ 반출중인 기판이 본체의 출구센서를 통과했다고 판단될 경우 , BA OUT 을 OFF 합니다 .
ㆍ BUSY IN 과 BA OUT 의 양쪽이 OFF 된 시점에서 반출을 종료합니다 .
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BUSY IN
(N0108220)
+24V
+24V
UR OUT(T01080E6)
LR IN
(N0108223)
+24V
COUNT RESET
(N0108224)
BA OUT
(T01080E5)
I/O BOARD
GND
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1
NEXT INTERFACE 회로
본 장비
NEXT INTERFACE 회로
반입중 출력
반출요구 입력
자동 운전중 입력
자동 운전중 출력
GND
하류측 장비
NEXT INTERFACE
COUNT RESET 출력
67903-L3-0 0
■ 기판반송 신호사양
NEXTINTERFACE
Pin No. 신호명 입출력사양 신호사양
1 +24V 입력공통 (+24V) 기판반입중 신호입력
2 BUSY IN(N0108220) 전압입력
3 BA OUT(T01080E5) 릴레이 접점 ( 무전압 ) 출력 기판 반출요구 신호출력
4 BA OUT(T01080E5) 릴레이 접점 ( 무전압 ) 출력
5 비었음
6 비었음 ( 더미핀 있음 ) ( 오삽입 방지 )
7 GND
8 비었음
9 UR OUT(T01080E6) 릴레이 접점 ( 무전압 ) 출력 자동 운전중 신호출력
10 UR OUT(T01080E6) 릴레이 접점 ( 무전압 ) 출력
11 +24V 입력공통 (+24V) 자동 운전중 신호입력
12 LR IN(N0108223) 전압입력
13 +24V 입력공통 (+24V) COUNT RESET 신호입력
14 COUNT RESET(N0108224) 전압입력
A-5
A
1.3 전원 접속부
본체정면 우측하단 패널을 열면 전원 접속부가 있습니다. 아래의 그림과 같은 전원케이블을 사용하고 메인
브레이커의 일차측 단자 L1, L2, L3 과 본체 접지 접속부에 접속합니다.
■ 전원사양
전원 삼상교류 200 / 208 / 220 / 240 / 380 / 400 / 416V ± 10%
주파수 50/60Hz
전원용량 3.0kVA ( 옵션인 온도조정 유니트는 제외 )
전원 입력단자
전원입력 단자
(L1, L2, L3, PE)
메인 브레이커
67904-L3-00
L1
U
L2
V
L3
W
접지
(녹색)
L=350mm
L=350mm
원형 압착단자
절연 피복부 압착 Y단자
전원 케이블 가공예
67905-L3-00
c
주의
전원 케이블에는 AWG12( 도체 단면적이 3.5 ㎟ ) 이상의 것을 사용해 주십시오 .
전원 케이블단자의 접속이 틀리면 클리너부의 흡인동작이 반대로 ( 에어가 뿜어 나옴 ) 작동됩니다 . 반드시 올바르게 접속해 주십
시오 .
w
경고
감전사고를 방지하기 위해 , 전원접속은 외부의 원 전원이 꺼져 있음을 확인하고 실시해 주십시오 . 또한 , 본체 접지부의 접속
은 확실하게 실행해 주십시오 .