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A-5 A 1. 3 전 원 접속 부 본 체 정 면 우측 하 단 패 널 을 열 면 전 원 접 속부 가 있 습 니 다 . 아 래 의 그 림 과 같 은 전 원 케 이 블을 사용 하 고 메 인 브 레 이 커 의 일 차측 단 자 L 1 , L 2 , L 3 과 본 체 접 지 접 속 부 에 접 속 합 니 다 . ■ 전원 사양 전원 삼상교류 20 0 / 208 / 22 0 / 24 0 / 38 0 / 4…
A-4
A
1.2.2 NEXT INTERFACE
아래의 1~3 의 조건이 갖추어진 경우에 , 기판반출을 시작합니다 .
1.본체가기판반출가능한상태（BAOUT:ON）
2.하류측장비에서기판반입신호를입력한상태（BUSYIN[N0108220]:ON）
3.하류측장비에서자동운전신호를입력한상태（LRIN[N0108223]:ON）
n
요점
ㆍ 기판반출중에 후장비의 자동운전중 신호（LR IN） 가 OFF 한 경우는 기판의 반출을 일시 정지합니다 .
ㆍ 반출중인 기판이 본체의 출구센서를 통과했다고 판단될 경우 , BA OUT 을 OFF 합니다 .
ㆍ BUSY IN 과 BA OUT 의 양쪽이 OFF 된 시점에서 반출을 종료합니다 .
1
2
3
4
5
6
7
8
9
10
11
12
13
14
BUSY IN
(N0108220)
+24V
+24V
UR OUT(T01080E6)
LR IN
(N0108223)
+24V
COUNT RESET
(N0108224)
BA OUT
(T01080E5)
I/O BOARD
GND
14
11
12
7
4
8
3
1
NEXT INTERFACE 회로
본 장비
NEXT INTERFACE 회로
반입중 출력
반출요구 입력
자동 운전중 입력
자동 운전중 출력
GND
하류측 장비
NEXT INTERFACE
COUNT RESET 출력
67903-L3-0 0
■ 기판반송 신호사양
NEXTINTERFACE
Pin No. 신호명 입출력사양 신호사양
1 +24V 입력공통 (+24V) 기판반입중 신호입력
2 BUSY IN(N0108220) 전압입력
3 BA OUT(T01080E5) 릴레이 접점 ( 무전압 ) 출력 기판 반출요구 신호출력
4 BA OUT(T01080E5) 릴레이 접점 ( 무전압 ) 출력
5 비었음
6 비었음 ( 더미핀 있음 ) ( 오삽입 방지 )
7 GND
8 비었음
9 UR OUT(T01080E6) 릴레이 접점 ( 무전압 ) 출력 자동 운전중 신호출력
10 UR OUT(T01080E6) 릴레이 접점 ( 무전압 ) 출력
11 +24V 입력공통 (+24V) 자동 운전중 신호입력
12 LR IN(N0108223) 전압입력
13 +24V 입력공통 (+24V) COUNT RESET 신호입력
14 COUNT RESET(N0108224) 전압입력
A-5
A
1.3 전원 접속부
본체정면 우측하단 패널을 열면 전원 접속부가 있습니다. 아래의 그림과 같은 전원케이블을 사용하고 메인
브레이커의 일차측 단자 L1, L2, L3 과 본체 접지 접속부에 접속합니다.
■ 전원사양
전원 삼상교류 200 / 208 / 220 / 240 / 380 / 400 / 416V ± 10%
주파수 50/60Hz
전원용량 3.0kVA ( 옵션인 온도조정 유니트는 제외 )
전원 입력단자
전원입력 단자
(L1, L2, L3, PE)
메인 브레이커
67904-L3-00
L1
U
L2
V
L3
W
접지
(녹색)
L=350mm
L=350mm
원형 압착단자
절연 피복부 압착 Y단자
전원 케이블 가공예
67905-L3-00
c
주의
전원 케이블에는 AWG12( 도체 단면적이 3.5 ㎟ ) 이상의 것을 사용해 주십시오 .
전원 케이블단자의 접속이 틀리면 클리너부의 흡인동작이 반대로 ( 에어가 뿜어 나옴 ) 작동됩니다 . 반드시 올바르게 접속해 주십
시오 .
w
경고
감전사고를 방지하기 위해 , 전원접속은 외부의 원 전원이 꺼져 있음을 확인하고 실시해 주십시오 . 또한 , 본체 접지부의 접속
은 확실하게 실행해 주십시오 .
A-6
A
2. 적합 마스크
2.1 마스크 사이즈와 마스크 스톱퍼 핀 위치
사용할 마스크의 사이즈에 따라 , 마스크 스톱퍼 핀 위치를 다음과 같이 변경할 필요가 있습니다 .
마스크 스톱퍼 핀은 돌려서 끼워 넣는 형식입니다 . 컨베이어 기준이「앞쪽」일 때는 F 의 위치 (1 군데 ) 에
장착합니다 . 컨베이어 기준이「안쪽」일 때는 R 의 위치 (1 군데 ) 에 장착합니다 .
■ 마스크 사이즈와 스톱퍼 핀 위치
마스크 프레임 사이즈
L(mm) × W(mm)
대상 기판사이즈
L(mm) x W(mm)
마스크 프레임 스톱퍼 위치
L 방향 W 방향
750 × 750 50 x 50( 최소 )~510 x 460( 최대 ) 미사용 미사용
750 × 650 50 x 50( 최소 )~510 x 460( 최대 ) 미사용 2 (2 군데 )
736 × 736 50 x 50( 최소 )~510 x 350( 최대 ) A 1 (2 군데 )
650 × 550 50 x 50( 최소 )~330 x 250( 최대 ) B 3 (2 군데 )
600 × 550 50 x 50( 최소 )~330 x 250( 최대 ) C 마스크 어댑터 ( 옵션 )
✽
550 × 650 50 x 50( 최소 )~330 x 250( 최대 ) D 마스크 어댑터 ( 옵션 )
✽
✽
마스크 어댑터 ( 옵션 ) 의 상세한 내용은 , 제 3 장 「5.1 마스크 어댑터를 사용할 경우 」 를 참조해 주십시오 .
1
2
1
2
3
A BCD
3
마스크 사이즈와 스톱퍼 핀 위치
마스크 프레임 L
마스크 클램프
마스크 프레임 W
6790 6-L 3 - 0 0
마스크 스톱퍼 핀
마스크 스톱퍼 핀
67907- L3 -00
참고
사용하지 않는 핀은 보관해 두십시오 .