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1-5 1 2 .1 오 퍼레이션 패널버 튼 오퍼 레 이 션 패널 버튼에 대해서 다 음과 같 이 설 명 합니다 . 오퍼레이션 패널버튼 67 1 03- L3-00 ■ 오 퍼레 이션 패널 버튼의 기능과 상태 버튼명 기능 R E A DY 비상정지를 해제하고 S ervo ON 으 로 합니다 . RESE T 운전 을 정지하고 기판생산 준비상 태로 돌아 갑니다 . S TA R T 기판데이터 에 따라 자 …