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1-21 1 7. S e r vo 제어축 구 성 YSP 는아 래그 림 의Ser vo 제어 축 으로움직 입 니 다 .다 른작동부 품은에 어 구동 입 니 다 . 제어축의 구성 스퀴지 스퀴지 헤드 컨베이어 레일 컨베이어 레일 기판 고정부(기판 테이블) SR축 PU축 W2축 W3축 W1축 MS축 X2축 X1축 Z축 Y축 SY축 SZ축 플러스 방향 마이너스 방향 CX축 카메라 유니트 6…

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6. 카메라 유
본장비는기판상의피듀셜마크나랜을인하기위「기판용카」와마스크뒷면의피듀셜마
나마스크개구부를인기위「마스크용카메」가장착되어있습니 .더욱 ,옵인솔더인
능을겸한장 ,「인쇄사용카라」와조이추가됩 .
을할때는이들카라를티칭유니트로사용합니 .
「기판용카「인쇄검용카메라조명유니 ( ) ,카라용X (CX ) 에탑재되어있 ,
X 방향으로만이합니 .Y 축과연동해서기판표의피듀셜마크를인식 .
「마스크용카」는메인스톱 (MS ) 에탑재어있으며 ,X 방향으로만이동합니 .Y 축과연동해서마스
크이면의피듀셜마크와마스크개구부를인식합니 .
카메라 유니트
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67 120-L3-10
1. 기판용 카메라 , 조명 유니
컨베이어에고정된기판의상면 ( ) 을인하기위한카메라와조명유 .
2. 마스크용 카메라 , 조명 유니트
마스크의이면을인하기위한카메라와조명유니 .
3. 인쇄 검사용 카메라 , 조명 유니트 ( )
고분해능
야의카라와조명유니 .옵의인쇄검사기능을겸한YSP 에탑재됩 .인쇄검사에대해
는별책션매얼」「인쇄사기능」을참조하 .
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7. Servo 제어축 구
YSP 는아래그의Servo 제어으로움직 .다른작동부품은에구동 .
제어축의 구성
스퀴지
스퀴지 헤드
컨베이어 레일
컨베이어 레일
기판 고정부(기판 테이블)
SR축
PU축
W2축
W3축
W1축
MS축
X2축
X1축
Z축
Y축
SY축
SZ축
플러스 방향
마이너스 방향
CX축
카메라 유니트
67121-L3-00
제어축의 명칭과 기능
유니트명 기능
스퀴지 헤드
SY 스퀴지 헤드를 Y 축과 평행하게 이동시킵니다 .
SZ 스퀴지 헤드를 상하로 이동시킵니다 .
SR 스퀴지 헤드를 회전시킵니 . (3S 헤드만
기판 고정부
( 기판 테이블 )
X1
기판 테이블을 X 축 방향에 따라 이동시킵니다 . 운전시에는 X2 축과
연동해서 R 축의 기능을 합니다 .
X2
기판 테이블을 X 축 방향에 따라 이동시킵니다 . 운전시에는 X1 축과
연동해서 R 축의 기능을 합니다 .
Y 기판 테이블을 Y 축 방향에 따라 이동시킵니다 .
Z 기판 테이블을 상하로 이동시킵니다 .
PU 푸쉬업 플레이트를 상하로 이동시킵니다 .
MS 메인 스톱퍼와 마스크 카메라를 X 축 방향에 따라 이동시킵니다 .
기판 반송 W1, W2, W3 반입
기판 고정부
반출 컨베이어 폭을 변경합니다 .
카메라 유니트 CX 기판 카메라 , 인쇄검사 카메라 유니트를 X 축 방향에 따라 이동시킵니다 .
참고
조작 화면상에서 각 축을 수로 조작할 수 있습니 . 자세한 내용은 제 6 「4.1축 이동」화면」을 참조 하십시 .
2 본적인 조작
이장에서 ,장비의기
방법을비여비상정지나에의해제방법 ,조작화면의구성등
본적인조작에대해설합니 .실제로장비를조작하면서본장의설을읽어주십시 .
목차
1. 비상정지의 해제와 에러클리어 2-1
1.1 비상정지의 해제방법 2-1
1.2 에러의 클리어방법 2-2
1.3 대표적인 에러와 대처방 2-3
2. 장비의 과 종료 2-8
2.1 시작전 점검을 한 2-9
2.2 장비를 기동한 2-10
2.3 장비의 전원을 OFF 로 한다 2-12
3. 조작화면의 설 2-14
3.1 조작화면의 기본구성 2-14
3.2 각종버튼과 입력 2-15