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제 2 장 기 본적 인 조작    이장에서 는 ,장비의기 동 • 종 료 방법을비 롯 하 여비 상정지 나에 러 의해제 방법 ,조작화면의구성등     기 본적 인조작에대해설 명 합니 다 .실제 로장비를조 작하 면서본장의설 명 을읽 어주십시 오 . 목차 1 . 비상정지의 해제와 에러클리어 2 - 1 1 . 1 비상 정지의 해제 방법 2 - 1 1 …

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7. Servo 제어축 구
YSP 는아래그의Servo 제어으로움직 .다른작동부품은에구동 .
제어축의 구성
스퀴지
스퀴지 헤드
컨베이어 레일
컨베이어 레일
기판 고정부(기판 테이블)
SR축
PU축
W2축
W3축
W1축
MS축
X2축
X1축
Z축
Y축
SY축
SZ축
플러스 방향
마이너스 방향
CX축
카메라 유니트
67121-L3-00
제어축의 명칭과 기능
유니트명 기능
스퀴지 헤드
SY 스퀴지 헤드를 Y 축과 평행하게 이동시킵니다 .
SZ 스퀴지 헤드를 상하로 이동시킵니다 .
SR 스퀴지 헤드를 회전시킵니 . (3S 헤드만
기판 고정부
( 기판 테이블 )
X1
기판 테이블을 X 축 방향에 따라 이동시킵니다 . 운전시에는 X2 축과
연동해서 R 축의 기능을 합니다 .
X2
기판 테이블을 X 축 방향에 따라 이동시킵니다 . 운전시에는 X1 축과
연동해서 R 축의 기능을 합니다 .
Y 기판 테이블을 Y 축 방향에 따라 이동시킵니다 .
Z 기판 테이블을 상하로 이동시킵니다 .
PU 푸쉬업 플레이트를 상하로 이동시킵니다 .
MS 메인 스톱퍼와 마스크 카메라를 X 축 방향에 따라 이동시킵니다 .
기판 반송 W1, W2, W3 반입
기판 고정부
반출 컨베이어 폭을 변경합니다 .
카메라 유니트 CX 기판 카메라 , 인쇄검사 카메라 유니트를 X 축 방향에 따라 이동시킵니다 .
참고
조작 화면상에서 각 축을 수로 조작할 수 있습니 . 자세한 내용은 제 6 「4.1축 이동」화면」을 참조 하십시 .
2 본적인 조작
이장에서 ,장비의기
방법을비여비상정지나에의해제방법 ,조작화면의구성등
본적인조작에대해설합니 .실제로장비를조작하면서본장의설을읽어주십시 .
목차
1. 비상정지의 해제와 에러클리어 2-1
1.1 비상정지의 해제방법 2-1
1.2 에러의 클리어방법 2-2
1.3 대표적인 에러와 대처방 2-3
2. 장비의 과 종료 2-8
2.1 시작전 점검을 한 2-9
2.2 장비를 기동한 2-10
2.3 장비의 전원을 OFF 로 한다 2-12
3. 조작화면의 설 2-14
3.1 조작화면의 기본구성 2-14
3.2 각종버튼과 입력 2-15
2-1
2
1. 비상정지의 해제와 에러클리
상정의해제와에러클어방법을설합니 .
1.1 비상정지의 해제방법
장비가 비지 상태일 때는 장비상부의 표시등인 빨간색 램가 점등하고 조작화면의 스이터스 에
「비상」라고 빨간색으로 표시 . 비상지의 해제방법은 다음과 같습니다 .
1
비상정지 버튼을 원상태로 합니다 .
상정지버튼이눌려진경우,오른으로돌려서해제합니다 .
과배의오퍼션패과우측상단에비상정지버튼이있습니 .
참고
전스위치 등에 의한 인락으로 비상지된 경 , 그 원인을 제거해 주십시 .
2
전을 확인합니다 .
상정지해후의운전에대 ,주위의안전을확인해주기바랍니 .
3
퍼레이션 패널의「READY」버튼을 누릅니다 .
「READY」버튼을누르면 ,서 ON 의상로됩니다 .
「READY」버튼
「READY」버튼
6720 0- L3 - 00
4
시를 확인합니다 .
표시인적색램프가꺼고조작화면의좌측상단 ( 스테스에 ) 「비상정」표시가꺼
인하시기니다 .