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2-3 2 1 . 3 대 표 적인 에 러와 대처 방법 여 기 에서 는 운전중에 표시되 는 대 표적 인 에러 와 그 대 처 방법을 다 음과 같 이 나타냅니다 . ■ 컨베 이어 관련 코드 에러 명칭과 내용 Ea8002 연장 컨베이어의 커버 오픈 상태 우측연장컨베이어의커버가열려있습니다 .커버를닫아주십시오 .커버가열려있는상태로는컨베이어폭축 을기동할수없습니다 . 원인 …
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1.2 에러의 클리어방법
운전중에 에러가 발생하면 버저가 울리면서 , 장비상부의 표시등의 노란색 램프가 점등하고 조작화면의 스테
이터스 에리어에도 「에러」라고 노란색으로 표시됩니다 . 동시에 에러내용을 나타내는 화면이 뜹니다 .
에러내용을 확인하고 클리어 할때는 아래의 순서에 따라 실시합니다 .
에러화면의 예
68200 -L3- 00
1
버저를 OFF 합니다 .
오퍼레이션패널의「ERRORCLEAR」버튼을한번누르거나 ,에러화면의[ 버저OFF] 버튼을눌러서
버저를OFF 합니다 .
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에러 내용을 확인합니다 .
에러화면에내용이표시되므로 ,확인하고에러의원인을제거하십시오 .
장비의축이동범위내에손등을넣어서작업할때는 ,반드시비상정지상태로하십시오 .
3
에러 화면을 클리어합니다 .
다시한번더오퍼레이션패널의「ERRORCLEAR」버튼을누르거나에러화면의「에러클리어」버튼을
눌러서에러화면을클리어합니다 .
4
표시를 확인합니다 .
장비상부의표시등인노란색램프와조작화면의스테이터스에리어의「에러」표시가꺼졌음을확인합니
다.
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2
1.3 대표적인 에러와 대처방법
여기에서는 운전중에 표시되는 대표적인 에러와 그 대처방법을 다음과 같이 나타냅니다 .
■
컨베이어 관련
코드 에러 명칭과 내용
Ea8002
연장 컨베이어의 커버 오픈
상태
우측연장컨베이어의커버가열려있습니다 .커버를닫아주십시오 .커버가열려있는상태로는컨베이어폭축
을기동할수없습니다 .
원인 우측연장컨베이어의커버가열려있어서 ,컨베이어폭축을기동할수없다 .
대책 우측연장컨베이어의커버를닫아주십시오 .
Ea8003
연장 컨베이어 서보제어 에러
상태 우측연장컨베이어W1 축의개별서보ON/OFF 제어에실패했습니다 .
원인
다음과같은원인으로생각됩니다 .
•
커버락의동작불량
•
커버콘택터의고장
대책
Ea8004
연장 컨베이어 커버 오픈
상태
좌측연장컨베이어의커버가열려있습니다 .커버를닫아주십시오 .커버가열려있는상태로는컨베이어폭축
을기동할수없습니다 .
원인 좌측연장컨베이어의커버가열려있어서 ,컨베이어폭축을기동할수없다 .
대책 좌측연장컨베이어의커버를닫아주십시오 .
Ea8005
연장 컨베이어 서보제어 에러
상태 좌측연장컨베이어W3 축의개별서보ON/OFF 제어에실패했습니다 .
원인
다음과같은원인으로생각됩니다 .
•
커버락의동작불량
•
커버콘택터의고장
대책
Ea8088
기판테이블의 입구에서 기판검출로 인해 기판테이블의 이동금지
상태
기판테이블의입구에서기판이검출되었으므로 ,기판테이블의X 축 ,Y 축 ,R 축 ,Z 축 ,W 축의축이동은금지되
어있습니다 .
원인 기판테이블입구에기판이있거나또는 ,입구센서의오검출 .
대책
•
기판테이블입구의기판을제거해주십시오 .
•
입구센서의청소와상태를확인해주십시오 .
Ea8089
기판테이블의 출구에서 기판검출로 인해 기판테이블의 이동금지
상태
기판테이블의출구에서기판이검출되었으므로 ,기판테이블의X 축 ,Y 축 ,R 축 ,Z 축 ,W 축의축이동은금지되
어있습니다 .
원인 기판테이블출구에기판이있거나또는 ,출구센서의오검출 .
대책
•
기판테이블출구의기판을제거해주십시오 .
•
출구센서의청소와상태를확인해주십시오 .
Ea8090
반입 컨베이어위에서 기판을 검출했으므로 , 반입 컨베이어의 폭 변경금지
상태 반입컨베이어위에서기판을검출했으므로 ,반입컨베이어의컨베이어폭을변경하는것은금지되어있습니다 .
원인 반입컨베이어상에기판이있거나또는 ,반입컨베이어센서의오검출 .
대책
•
반입컨베어어상의기판을제거해주십시오 .
•
반입컨베어어센서의청소와상태를확인해주십시오 .
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코드 에러 명칭과 내용
Ea8091
반출 컨베이어상에서 기판검출로 인해 컨베이어 폭 변경금지
상태 반출컨베이어에서기판을검출했으므로 ,반출컨베이어의컨베이어폭을변경하는것은금지되어있습니다 .
원인 반출컨베이어상에기판이있거나또는 ,반출컨베이어센서의오검출 .
대책
•
반출컨베어어상의기판을제거해주십시오 .
•
반출컨베어어센서의청소와상태를확인해주십시오 .
Ea8098
메인스톱퍼 축 동작금지
상태 메인스톱퍼축을동작시킬수없습니다 .
원인 장비내의기판고정위치에기판이있으며 ,또한메인스톱퍼가상승되어있다 .
대책
•
장비내의기판을제거해주십시오 .
•
메인스톱퍼를하강시켜주십시오 .
Ea8099
메인스톱퍼 동작금지
상태 메인스톱퍼를상승시킬수없습니다 .
원인 장비내의기판고정위치에기판이있습니다 .
대책 장비내의기판을제거해주십시오 .
Ea8158
기판흡착 부압체크 에러 ( 옵션 )
상태 기판흡착의부압센서체크결과 ,NG 입니다 .
원인
기판이정확하게흡착되어있지않거나 ,탑재높이옵셋 ( 기판사이즈높이 Z) 이크거나 ,또는부압센서의조정상
태가올바르지않습니다 .
대책
•
기판사이즈높이 (Z) 의수치를확인해주십시오 .
•
기판흡착상태에서부압센서의조정을실행해주십시오 .
부압센서를조정한후 ,에어리크테스트를해주십시오 .에어리크가있을경우는 ,흡착블록의장착상태를
재확인해주십시오 .
Ea8159
컨베이어 에러
상태 컨베이어상에기판이있어서 ,메인스톱퍼위치를변경할수없습니다 .
원인 컨베이어상에기판이있거나 ,또는기판검출센서의오검출 .
대책
비상정지상태에서기판을제거해주십시오 .종료하면비상정지를해제하고 ,재실행하여주십시오 .
[ 장치 ]-「컨베이어」탭화면의[ 좌 ][ 우 ] 버튼을조작해서컨베이어벨트를회전시켜서 ,기판검지센서가벨
트에반응하는지화면상에서확인해주십시오 .
Ea8161
기판흡착 부압체크 에러 ( 옵션 )
상태 기판고정의해제시에부압이충분히내려가지않았습니다 .
원인
아래항목을확인하여주십시오 .
•
기판의흡착상태
•
부압센서의조정상태
대책 해당원인을제거해주십시오 .
Ea8164
플랩동작 위험
상태 플랩이카메라축 ,또는기판프레스와간섭할가능성이있기때문에 ,플랩을작동할수없습니다 .
원인
다음과같은원인으로생각됩니다 .
•
기판테이블이기판인식높이에없다
•
기판프레스가하강되어있다 .
대책
대상이되는원인을제거해주십시오 .
기판플랩을상승시킨후 ,재실행해주십시오 .
Ea8206
기판테이블 이동불가
상태 컨베이어상에기판이있어서 ,기판테이블을이동시킬수없습니다 .
원인 컨베이어상에기판이있어서 ,기판테이블의이동은할수없습니다 .
대책 컨베이어상의기판을제거해주십시오 .
Ea8207
기판고정 에러
상태 기판고정에실패했습니다 .
원인 반입 / 고정한기판이기판고정위치에없습니다 .
대책 손으로기판을제거하고 ,반입동작을재실행해주십시오 .