YSP_Users_K - 第68页
2-4 2 코드 에러 명칭과 내용 Ea8091 반출 컨베이어상에서 기판검출로 인해 컨베이어 폭 변경금지 상태 반출컨베이어에서기판을검출했으므로 ,반출컨베이어의컨베이어폭을변경하는것은금지되어있습니다 . 원인 반출컨베이어상에기판이있거나또는 ,반출컨베이어센서의오검출 . 대책 • 반출컨베어어상의기판을제거해주십시오 . • 반출컨베어어센서의청소와상태를확…
2-3
2
1.3 대표적인 에러와 대처방법
여기에서는 운전중에 표시되는 대표적인 에러와 그 대처방법을 다음과 같이 나타냅니다 .
■
컨베이어 관련
코드 에러 명칭과 내용
Ea8002
연장 컨베이어의 커버 오픈
상태
우측연장컨베이어의커버가열려있습니다 .커버를닫아주십시오 .커버가열려있는상태로는컨베이어폭축
을기동할수없습니다 .
원인 우측연장컨베이어의커버가열려있어서 ,컨베이어폭축을기동할수없다 .
대책 우측연장컨베이어의커버를닫아주십시오 .
Ea8003
연장 컨베이어 서보제어 에러
상태 우측연장컨베이어W1 축의개별서보ON/OFF 제어에실패했습니다 .
원인
다음과같은원인으로생각됩니다 .
•
커버락의동작불량
•
커버콘택터의고장
대책
Ea8004
연장 컨베이어 커버 오픈
상태
좌측연장컨베이어의커버가열려있습니다 .커버를닫아주십시오 .커버가열려있는상태로는컨베이어폭축
을기동할수없습니다 .
원인 좌측연장컨베이어의커버가열려있어서 ,컨베이어폭축을기동할수없다 .
대책 좌측연장컨베이어의커버를닫아주십시오 .
Ea8005
연장 컨베이어 서보제어 에러
상태 좌측연장컨베이어W3 축의개별서보ON/OFF 제어에실패했습니다 .
원인
다음과같은원인으로생각됩니다 .
•
커버락의동작불량
•
커버콘택터의고장
대책
Ea8088
기판테이블의 입구에서 기판검출로 인해 기판테이블의 이동금지
상태
기판테이블의입구에서기판이검출되었으므로 ,기판테이블의X 축 ,Y 축 ,R 축 ,Z 축 ,W 축의축이동은금지되
어있습니다 .
원인 기판테이블입구에기판이있거나또는 ,입구센서의오검출 .
대책
•
기판테이블입구의기판을제거해주십시오 .
•
입구센서의청소와상태를확인해주십시오 .
Ea8089
기판테이블의 출구에서 기판검출로 인해 기판테이블의 이동금지
상태
기판테이블의출구에서기판이검출되었으므로 ,기판테이블의X 축 ,Y 축 ,R 축 ,Z 축 ,W 축의축이동은금지되
어있습니다 .
원인 기판테이블출구에기판이있거나또는 ,출구센서의오검출 .
대책
•
기판테이블출구의기판을제거해주십시오 .
•
출구센서의청소와상태를확인해주십시오 .
Ea8090
반입 컨베이어위에서 기판을 검출했으므로 , 반입 컨베이어의 폭 변경금지
상태 반입컨베이어위에서기판을검출했으므로 ,반입컨베이어의컨베이어폭을변경하는것은금지되어있습니다 .
원인 반입컨베이어상에기판이있거나또는 ,반입컨베이어센서의오검출 .
대책
•
반입컨베어어상의기판을제거해주십시오 .
•
반입컨베어어센서의청소와상태를확인해주십시오 .
2-4
2
코드 에러 명칭과 내용
Ea8091
반출 컨베이어상에서 기판검출로 인해 컨베이어 폭 변경금지
상태 반출컨베이어에서기판을검출했으므로 ,반출컨베이어의컨베이어폭을변경하는것은금지되어있습니다 .
원인 반출컨베이어상에기판이있거나또는 ,반출컨베이어센서의오검출 .
대책
•
반출컨베어어상의기판을제거해주십시오 .
•
반출컨베어어센서의청소와상태를확인해주십시오 .
Ea8098
메인스톱퍼 축 동작금지
상태 메인스톱퍼축을동작시킬수없습니다 .
원인 장비내의기판고정위치에기판이있으며 ,또한메인스톱퍼가상승되어있다 .
대책
•
장비내의기판을제거해주십시오 .
•
메인스톱퍼를하강시켜주십시오 .
Ea8099
메인스톱퍼 동작금지
상태 메인스톱퍼를상승시킬수없습니다 .
원인 장비내의기판고정위치에기판이있습니다 .
대책 장비내의기판을제거해주십시오 .
Ea8158
기판흡착 부압체크 에러 ( 옵션 )
상태 기판흡착의부압센서체크결과 ,NG 입니다 .
원인
기판이정확하게흡착되어있지않거나 ,탑재높이옵셋 ( 기판사이즈높이 Z) 이크거나 ,또는부압센서의조정상
태가올바르지않습니다 .
대책
•
기판사이즈높이 (Z) 의수치를확인해주십시오 .
•
기판흡착상태에서부압센서의조정을실행해주십시오 .
부압센서를조정한후 ,에어리크테스트를해주십시오 .에어리크가있을경우는 ,흡착블록의장착상태를
재확인해주십시오 .
Ea8159
컨베이어 에러
상태 컨베이어상에기판이있어서 ,메인스톱퍼위치를변경할수없습니다 .
원인 컨베이어상에기판이있거나 ,또는기판검출센서의오검출 .
대책
비상정지상태에서기판을제거해주십시오 .종료하면비상정지를해제하고 ,재실행하여주십시오 .
[ 장치 ]-「컨베이어」탭화면의[ 좌 ][ 우 ] 버튼을조작해서컨베이어벨트를회전시켜서 ,기판검지센서가벨
트에반응하는지화면상에서확인해주십시오 .
Ea8161
기판흡착 부압체크 에러 ( 옵션 )
상태 기판고정의해제시에부압이충분히내려가지않았습니다 .
원인
아래항목을확인하여주십시오 .
•
기판의흡착상태
•
부압센서의조정상태
대책 해당원인을제거해주십시오 .
Ea8164
플랩동작 위험
상태 플랩이카메라축 ,또는기판프레스와간섭할가능성이있기때문에 ,플랩을작동할수없습니다 .
원인
다음과같은원인으로생각됩니다 .
•
기판테이블이기판인식높이에없다
•
기판프레스가하강되어있다 .
대책
대상이되는원인을제거해주십시오 .
기판플랩을상승시킨후 ,재실행해주십시오 .
Ea8206
기판테이블 이동불가
상태 컨베이어상에기판이있어서 ,기판테이블을이동시킬수없습니다 .
원인 컨베이어상에기판이있어서 ,기판테이블의이동은할수없습니다 .
대책 컨베이어상의기판을제거해주십시오 .
Ea8207
기판고정 에러
상태 기판고정에실패했습니다 .
원인 반입 / 고정한기판이기판고정위치에없습니다 .
대책 손으로기판을제거하고 ,반입동작을재실행해주십시오 .
2-5
2
코드 에러 명칭과 내용
Ea8207
<< 심각한 에러 >> 인쇄완료된 기판의 분실
상태 판분리한후에 ,기판고정을해제했지만 ,인쇄위치센서에서인쇄완료된기판을검출하지못했습니다 .
원인
아래의원인으로생각할수있습니다 .
(1) 마스크에기판이붙어있다 .
(2) 기판이컨베이어에서떨어졌다 .
대책
마스크를떼어내고 ,기판상태를반드시확인하여주십시오 .
기판을꺼내고리세트한후 ,자동운전을재개해주십시오 .
■
축 관련
코드 에러 명칭과 내용
Ea8081
기판테이블의 하강에 의해 기판테이블 XYR 축 이동금지
상태 기판테이블이하강위치에있기때문에 ,기판테이블의X 축 ,Y 축 ,R 축의축이동은금지되어있습니다 .
원인 기판테이블이하강위치에있기때문에 ,기판테이블의X 축 ,Y 축 ,R 축의축이동은금지되어있습니다 .
대책 「축이동」화면에서기판테이블의Z 축을상승시켜주십시오 .
Ea8084
기판테이블 하강금지
상태 기판테이블이기판반송위치에없으므로 ,기판테이블의하강은금지되어있습니다 .
원인 기판테이블이기판반송위치에없으므로 ,기판테이블의하강은금지되어있습니다 .
대책 「축이동」화면에서기판테이블의X 축 ,R 축을기판반송위치로이동시켜주십시오 .
Ea8096
스퀴지 하강으로 SR 축 이동금지
상태 스퀴지SZ 축이SR 축회전때의높이보다하강되어있어서 ,SR 축의축이동이금지되어있습니다 .
원인 스퀴지SZ 축이SR 축회전때의높이보다하강되어있어서 ,SR 축의축이동이금지되어있습니다 .
대책 「축이동」화면에서스퀴지SZ 축을상승시키거나또는리세트실행후 ,재실행해주십시오 .
Ea8924
메인스톱퍼 축 인터락
상태 메인스톱퍼가하강및 ,후퇴되어있지않은관계로 ,메인스톱퍼축을이동할수없습니다 .
원인 메인스톱퍼가하강및 ,후퇴되어있지않은관계로 ,메인스톱퍼축을이동할수없습니다 .
대책 「장치」화면에서메인스톱퍼를후퇴시켜주십시오 .