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2-12 2 2 .3 장 비의 전 원 을 OFF 로 한다 아래의 순서 에 따라 장비의 전 원을 O FF 로 하 십 시오 . 1 조작 화 면의 [ 전원 O f f] 버튼 을 누 릅니다 . [전원 Off] 버튼 [전원 Off] 버튼 68204-L3 -0 0 2 종료확인 대화 창이 표 시되면 [ 예 ] 를 누 릅 니다 . 종료확인 대화창 68205-L3- 00 3 원점위 치로 이동합 니다 . 원 …

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조작 화면의 [ 업자 ] 버튼을 누릅니다 .
자를지정하기위「작업자윈」가표시됩니 .
[작업자] 버튼
[작업자]버튼
68202-L3- 00
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작업자를 지정 , 패스워드를 입력합니다 .
에따라「그룹명리스트로부터 ,「관리자」또「작」를선할수있습니 .
드가일하면 ,초기화면 ( 기판선택전의셋화면 ) 이됩 .
작업자를 지정
작업자를 선택해서 [OK]를 누른다
68203-L3- 00
참고
기판선택이나 일상인 생산작업에 대해서는 본 장을 숙지한 후 ,「제 3 장 일상작업」을 참조 하십시 .
참고
지정한 작업자 조작허가 레벨의 설정에 따라 , 유효한 메뉴버튼이 달집니 . 예를 들어 , 출하시의「디폴프 작업자」의
조작벨은 [ 레벨 0] 로 설어 있으며 , 최소한의 조작만 허가되어 있습니다 . 이 레벨은 필에 따라 변경할 수 있습니다 .
그리고 패스워드와 조작 레벨의 설정에 따라 작업자의 추 , 조작가 항목의 설정이 가능합니다 .
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2.3 비의 전을 OFF 로 한다
아래의 순서에 따라 장비의 전원을 OFF 로 하시오 .
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조작 화면의 [ 전원 Off] 버튼을 누릅니다 .
[전원 Off] 버튼
[전원 Off] 버튼
68204-L3 -0 0
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종료확인 대화창이 표시되면 [ ] 를 누니다 .
종료확인 대화창
68205-L3- 00
3
원점위치로 이동합니다 .
치이동대화창이표시면[OK] 를누르십 .
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4
전원 OFF 인 대화이 표시되면 [OK] 버튼을 누니다 .
리케이션이자동적으로종료됩니다 .
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비상정지 상태로 합니다 .
상정지대화창이표시면비상정지버을누르고[OK] 튼을누르십 .
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장비 본체의 전원 스위치를 OFF 로 합니다 .
화면에전 OFF 의허가표시면장비본체의전원스위를왼으로돌려서OFF 로하 .
c
주의
료순서를무고함부로전원스위치를OFF 로하면데나기기의파손원인이됩니 .
c
주의
원을OFF 한후 ,재차장비를기할경우에는2 이상기다린후에ON 으로해주십시 .순서를무시하면경우에따라서는
장비의기동에지장이생길수있습니 .