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2-13 2 4 전원 OFF 확 인 대화 창 이 표 시되면 [ OK] 버튼 을 누 릅 니다 . 어 플 리케 이션 이자동적으로종 료됩 니다 . e 5 비상정지 상 태로 합 니다 . 비 상정 지대 화창 이표시 되 면비 상정 지버 튼 을누 르고[ OK] 버 튼을누 르십 시 오 . 6 장비 본체의 전원 스위 치를 OFF 로 합니다 . 화면에전 원 O FF 의허 가 가표시 되 면…

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2.3 비의 전을 OFF 로 한다
아래의 순서에 따라 장비의 전원을 OFF 로 하시오 .
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조작 화면의 [ 전원 Off] 버튼을 누릅니다 .
[전원 Off] 버튼
[전원 Off] 버튼
68204-L3 -0 0
2
종료확인 대화창이 표시되면 [ ] 를 누니다 .
종료확인 대화창
68205-L3- 00
3
원점위치로 이동합니다 .
치이동대화창이표시면[OK] 를누르십 .
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전원 OFF 인 대화이 표시되면 [OK] 버튼을 누니다 .
리케이션이자동적으로종료됩니다 .
e
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비상정지 상태로 합니다 .
상정지대화창이표시면비상정지버을누르고[OK] 튼을누르십 .
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장비 본체의 전원 스위치를 OFF 로 합니다 .
화면에전 OFF 의허가표시면장비본체의전원스위를왼으로돌려서OFF 로하 .
c
주의
료순서를무고함부로전원스위치를OFF 로하면데나기기의파손원인이됩니 .
c
주의
원을OFF 한후 ,재차장비를기할경우에는2 이상기다린후에ON 으로해주십시 .순서를무시하면경우에따라서는
장비의기동에지장이생길수있습니 .
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3. 조작화면의 설
에서는조작화면의기본적인구성 ,데의입 ,도화면에대해설명합니 .
3.1 조작화면의 기본구
조작화면「스테이스 에어」, 「버튼 에어」, 「프리 에」로 구성됩 .
화면 구성예
프리 에리어
버튼 에리어1
버튼 에리어 3
버튼 에리어 2
스테이터스 에리어
기판 선택후의 셋업화면
68206-L 3-0 0
화면상의 에리어
스테이터스 에리어 좌측 끝에 현재의 기계상태 , 중앙에 선택되어 있는 기판명 , 우측 끝에 기판의 생산수량을 표시합니다 .
버튼 에리어 1 조작상의 주요메뉴를 선택할 수 있습니다 . 선택한 버튼에 따라 「프리에리어」의 화면 내용이 바뀝니다 .
버튼 에리어 2 보조적인 기능을 불러내기 위한 버튼입니다 .
버튼 에리어 3
도움말 화면을 불러내기 위한 [ 도움 ] 버튼과 기계의 전원을 OFF 로 하기위한 [ 전원 Off] 버튼이 있습
니다 .
프리 에리어 메뉴버튼에서 선택된 조작화면이 표시됩니다 .
참고
버튼 에어의 메뉴버을 누르면 프리 에리의 조작화면이 전됩니 . 각 조작화면의 버튼기나 설정목의 자세한
내용은 제 3 ~ 6 을 참조해 주십시 .