YSP_Users_K - 第82页

3-2 3 2. 장 비 의 기동 과 워 밍 업 장비 를기 동 한후워 밍업운전 을하 십 시 오 .워 밍 업실 행 시 간은1 0 분정 도 면됩 니다 .단 ,전 회운전 후2 시간  이 내 의경 우워 밍업 은필 요없습 니 다 . 1 시작전 점검을 하 고나서 장비를 기동합니다 . 시 작 전점 검항목 과장비 의기 동방법에대 해 서 는제 2 장 「기 본적 인…

100%1 / 274
3-1
3
1.
이장는오페가일상적으로실할작업을아래의플로우에따라설 .
장비를 기동한다
시작전 점검을 한다
워밍업 운전을 한다
셋업전환
기판선택
전회와 같은 기판을 생산하는가?
롤링 운전을 한다
생산을 종료한다
생산을 시작한다
전원을 OFF한다
일상 작업의 흐름
YES
NO
필요에 따라 실행한다
6730 0- L3 -00
3-2
3
2. 의 기동과 워
장비를기한후워밍업운전을하 .워업실간은10 분정면됩니다 .단 ,전회운전후2 시간
의경우워밍업은필요없습 .
1
시작전 점검을 하고나서 장비를 기동합니다 .
전점검항목과장비의기동방법에대는제 2 「기본적인조작」을참하시기바랍니 .
2
셋업 화면의 [ 워밍업 ] .
「워」화면이표시 .
셋업화면
셋업 화면
「유틸리티」탭
[워밍업]버튼을 누르면「워밍업」화면이 표시된다
68300 -L3-0 0
3
워밍업 시간을 설정합니다 .
[ 지정간에정 ] 버튼을누르고워업시을입십시 .설한시간에서워밍업운전을자동
킬수있 .
워밍업 설정화면
이 버튼을 눌러서 워밍업 시간을 입력한다
68301-L3- 00
3-3
3
4
[ 시작 ] 버튼을 눌러서 워밍업 운전을 시작합니다 .
「진상태」에워밍업의경간이표시 .
워밍업 운전화면
워밍업 경과시간
도중에 정지할 경우는
이 버튼을 누른다
68302-L3-0 0
c
주의
업중에이상이발생하면[ 정지 ] 튼을누르고운전을정하십시 .원인을제한후[ 시작 ] 으로워을재개
십시오 .
5
워밍업을료합 .
Step3 에서설한시간이되면장비는자동적으로운전을종합니 .(도중에서종고자할때는
[ ] 튼을누르십 .)워밍업종후는[ ] 튼을누르고이전화면으로돌아갑니 .