YSP_Users_K - 第83页
3-3 3 4 [ 시작 ] 버튼 을 눌러서 워밍업 운전을 시작 합니다 . 「진 행 상태」에워 밍업 의경 과 시 간이표시 됩 니 다 . 워밍업 운전화면 워밍업 경과시간 도중에 정지할 경우는 이 버튼을 누른다 68302-L3-0 0 c 주의 워 밍 업중에이상이발생하면[ 정지 ] 버 튼을누 르고운전을정 지 하십시 오 .원인 을제 거 한후[ 시작 ] 버 튼 으로워 밍 …
3-2
3
2. 장비의 기동과 워밍업
장비를기동한후워밍업운전을하십시오 .워밍업실행시간은10 분정도면됩니다 .단 ,전회운전후2 시간
이내의경우워밍업은필요없습니다 .
1
시작전 점검을 하고나서 장비를 기동합니다 .
시작전점검항목과장비의기동방법에대해서는제 2 장「기본적인조작」을참조하시기바랍니다 .
2
셋업 화면의 [ 워밍업 ] 버튼을 누릅니다 .
「워밍업」화면이표시됩니다 .
셋업화면
셋업 화면
「유틸리티」탭
[워밍업]버튼을 누르면「워밍업」화면이 표시된다
68300 -L3-0 0
3
워밍업 시간을 설정합니다 .
[ 지정시간에정지 ] 버튼을누르고워밍업시간을입력하십시오 .설정한시간에서워밍업운전을자동정
지시킬수있습니다 .
워밍업 설정화면
이 버튼을 눌러서 워밍업 시간을 입력한다
68301-L3- 00
3-3
3
4
[ 시작 ] 버튼을 눌러서 워밍업 운전을 시작합니다 .
「진행상태」에워밍업의경과시간이표시됩니다 .
워밍업 운전화면
워밍업 경과시간
도중에 정지할 경우는
이 버튼을 누른다
68302-L3-0 0
c
주의
워밍업중에이상이발생하면[ 정지 ] 버튼을누르고운전을정지하십시오 .원인을제거한후[ 시작 ] 버튼으로워밍업을재개하
십시오 .
5
워밍업을 종료합니다 .
Step3 에서설정한시간이되면장비는자동적으로운전을종료합니다 .（도중에서종료하고자할때는
[ 정지 ] 버튼을누르십시오 .)워밍업종료후는[ 닫기 ] 버튼을누르고이전화면으로돌아갑니다 .
3-4
3
3. 기판의 선택
미리작성되어있는기판데이터리스트로부터 ,생산할기판을선택합니다 .
1
기판데이터를 선택합니다 .
1. 기판데이터가미선택인경우에는셋업화면의[ 기판선택 ] 버튼을눌러서 ,등록되어있는기판데이터
를표시합니다 .
2. 생산을실행하는기판명에커서를맞춰서 ,[ 선택 ] 버튼을누르면선택한기판데이터가읽혀집니다 .
[기판선택] 버튼
기판의 선택
등록되어 있는 기판데이터 리스트에서 선택한다
선택한 기판명이
표시된다
68303-L3-0 0
2
선택한 기판데이터를 확인합니다 .
스테이터스에리어에선택한기판명이표시되어있는지확인해주십시오 .또한 ,표시되어있는기판
사이즈 ,마스크사이즈 ,스퀴지타입이올바른지확인해주십시오 .
기판 선택후의 셋업화면
선택된 기판명
기판 사이즈
마스크 사이즈
스퀴지 타입
68304-L3 -0 0