FX-3_（管理员操作说明书）Operation_Manual2_Rev00_C.pdf - 第253页
操作手册Ⅱ Rev00 3-38 (5) 动作状态 显示基板传送、宽度回原点、传送道上的动作状态。 (6) [ 宽度回原点 ] 按钮 基板宽度自动调整返回原点。 (7) [关闭]按钮 关闭自动调整基板宽度对话框。 3-5-1-3 传送控制 在传送道路状态画面显 示后，执 行传送动作， 进行马达、支撑台、 外形基准气缸/挡块等有关 控制。 图 3-5-1-3-1 基板传送画面 详情内容请参见“第 4 章的手动控制” 。
操作手册Ⅱ Rev00
3-37
3-5-1-2 自动调整基板宽度
可进行基板传送宽度的调整。
图 3-5-1-2-1 自动调整基板宽度对话框
(1) 移动基板幅度 ([移动]按钮)
移动传送宽度，对准基板外形尺寸＋余宽的位置。
运行时的传送宽度值，适用以下项目的设置值。
（2）基板外形尺寸
用三角按钮或输入数值来设定基板外形尺寸。
默认值用基板数据的基板外形尺寸(Y方向)代入。
（3）余宽
输入基板和传送轨道的余宽。
1）余宽
用三角按钮或输入数值来设定基板与传送通道的余宽。
2）取得
用当前的传送宽度减去基板外形尺寸的值作为余宽。
（4）[基板传送]按钮
启动基板传送画面。
详见“第 4 章的手动控制”。
操作手册Ⅱ Rev00
3-38
(5) 动作状态
显示基板传送、宽度回原点、传送道上的动作状态。
(6) [宽度回原点]按钮
基板宽度自动调整返回原点。
(7) [关闭]按钮
关闭自动调整基板宽度对话框。
3-5-1-3 传送控制
在传送道路状态画面显示后，执行传送动作，进行马达、支撑台、外形基准气缸/挡块等有关
控制。
图 3-5-1-3-1 基板传送画面
详情内容请参见“第 4 章的手动控制”。
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3-5-1-4 基板传送
在传感器状态画面显示后，执行传送动作，调整搬入、搬出基板、释放基板、重夹。
图 3-5-1-4-1 基板传送画面
详见“第 2 章的 2-3-3-4 传送设置”。
关于 BOC 校正，请参见“第 4 章 手动操作的 4-2-2 示教”的记述。