FX-2_使用说明书 - 第289页

第 6 章 编辑辅助功能 不改变检测框时,请按下 ENTER 键。 ********** ********** 在这里,按下 HOD 的 PREVIOUS 时,可返回到刻度框示教(③的操作) 。 ⑦ 示教结束 完成识别示教之后,在标记数据的旁边显示(T)表示完成示教。请对所有使用的标 记进行识别示教。 此外, 进行示教中, 若按下 HOD 的 CANCEL 键, 则示教结束。 在这种情况下, 前面输入 的数据全部变为无效。 按下 CAN…

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6 编辑辅助功能
其次,设定标记判定,选择 PR
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[ *]PR
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模板的最大尺寸为 256×256 像素(画面的 1/4 左右)
如果模板过大,则显示错误,返回上面顺序④。
示教模板画面的重心。
示教检测框。
结束⑤的示教重心后,画面中心自动显示出④ 操作设定的框 1.5 倍的窗口,(默认窗
口)。此时重心与画面的中心一致。
要改变检测框架时,请按④的顺序进行。
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画面中显示刻度框和十字光标。
使用 HOD 移动十字光标,决定模板的重心(这个位置,与基板数
据的标记坐标是一致的)
画面下显示 TempMatchSet Center ”。
*将标记对准在 PR 位置上, HOD
键、 XY 上下移动箭头键)
ENTER 键。
画面下显示Select Mark by Up or
Down Key”
请用上下键选择标记
**********
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6 编辑辅助功能
不改变检测框时,请按下 ENTER 键。
**********
**********
在这里,按下 HOD PREVIOUS 时,可返回到刻度框示教(③的操作)
示教结束
完成识别示教之后,在标记数据的旁边显示(T)表示完成示教。请对所有使用的标
记进行识别示教。
此外,进行示教中,若按下 HOD CANCEL
键,则示教结束。在这种情况下,前面输入
的数据全部变为无效。
按下 CANCEL 键后,装置停止移动。
和设置刻度框一样,设定检测框。
设定的方法与设定刻度框方法相同。
虚线部分是模板的设定框,实际上不显示。
画面下显示“Set Left-Top Point”
调整完成后,按下 ENTER
画面下显示Set Right-Bottom Point”
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6 编辑辅助功能
关于设定模板的注意事项
1) 请确认检测框内没有与已设定的模板图案类似的图案。
2) 图案尺寸,要与标准标记一样,设定为 0.53 mm
3) 坐标值请使用设计值CAD 数据)用户指定的模板数据,不能正确地求出图案的中心位置。
由于采用十字光标移动式的示教,用户指定的位置将被看作为中心位置。(而通常的标记,
是以计算求出的重心位置为图案的中心位置,不会出现误差)
4) 用户指定的模板图案,不能进行图像复制。
5) 要把使用用户指定的模板的生产程序保存到软盘时,如软盘容量不足,有时不能保存其生
产程序。
6) 使用用户指定的模板的生产程序,要从软盘中读取和保存,比较费时间,建议不要直接从
软盘读取和保存。
7) HD 中复制保存的生产程序时,请使用主菜单的[文件] 中的[文件夹管理(资源管理器)]
把软盘复制下来。
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