FX-2_使用说明书 - 第634页

第 10 章 手动控制 激光状态 取得测量 (SWEEP 或者 ONCE) 结果时返回状态一览如下。 表 10 -6 激光状态 一览 状态 说明 0 1 执行命令正常。 5 传感器通信连接时发生数据 错误。 * 电缆断线、 接触不良等原因。 7 未设置 EDGE 数据(激光识别宽度)。 8 传感器未被连接或硬件出现错误。 10 未检测出有效的传感器数据 。传感器的电缆不良等。请重新启动。 14 传感器与 θ 轴不同步。请检查传感器、 电…

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10 手动控制
(6) 态显示
在控制完成时,显示控制单元的真空的打开/关闭状态、Z 轴坐标、激光的测量结果。
显示项目会根据所进行的控制发生变化。
1) 运行测量(ONCE)时的结果
边界位置 从旋转中心到边界的距离
阴影的宽度(左边界~右边界的距离)
中心 阴影的中心位置(LNC60 绝对坐标系)
状态 ONCE 运行状态代码(参见 10-6 激光的状态一览)
2) 运行测量(SWEEP) 时的结果
识别的元件的宽度
偏差 识别的元件偏差(旋转中心和元件中心的偏差)
角度 识别的元件角度
状态 运行 SWEEP 状态代码(参见 10-6 激光的状态一览)
3) 运行边界检查后的结
平均亮度:显示相应 Head 窗口范围内的激光水平平均值。
标准偏差:显示各像素的激光实际水平值与本来的水平值之差的偏差值。该值大,表明激光可
能脏污、或激光单元异常。
最小亮度:显示亮度最低的传感亮度,及其位置。
边界检查:实行边界检查时最高的边界检查值及其位置。
边界检查状态:显示边界检查的实行结果。
1 正常。
0 边界检查异常
请在边界检查显示画面上确
激光脏污状况。
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10 手动控制
激光状态
取得测量(SWEEP 或者 ONCE)结果时返回状态一览如下。
10-6
激光状态一览
状态
说明
0
1 执行命令正常。
5
传感器通信连接时发生数据错误。
*电缆断线、接触不良等原因。
7 未设置 EDGE 数据(激光识别宽度)。
8 传感器未被连接或硬件出现错误。
10 未检测出有效的传感器数据。传感器的电缆不良等。请重新启动。
14 传感器与
θ
轴不同步。请检查传感器、电缆、
θ
轴编码器。
15 维持传感器正常运转的输入电压过低。
17
输入电流较低,但仍超出了传感器发出的输出电流限制值。
一旦出现此状态,在MCM复位前,要保持传感器电源处于被阻断的状态。
60 通信缓冲里设置的数据比指定的长度短。
61 通信缓冲里设置的数据比指定的长度长。
62 指定的长度比发行的命令长度短。
63 指定的长度比发行的命令长度长。
64 未能检测出元件。(此状态表示激光的光束没有被遮挡住。
65
处理器未能维持 FrameRate
处理器评价数据时未能按充分的速度读出输入数据。
67 LA检测出元件的最小宽度前,接收到了停止扫描的命令。
70 LNC60 发现了未发生的状态。
74
MSP 里保存的 COR(吸嘴旋转中心位置)异常
SWEEP 的识别结果中,当一个以上的宽度为负时,即设置此错误。此错误显示时,COR 的设
置可能出现了大幅的偏差。
75
执行 SWEEP 中,在前面的测量中发生了错误。
执行 SWEEP 中如果第 1、第 2、第 3 测量中发生错误,各自均停止第 2、第 3、第 4 测量
的处理。本错误只在第 2、第 3、第 4 有结果时才通知。
例:虽然第1最小宽度通知正确,但第2最小宽度检测中出现错误。第2最小宽度的结果
通知该错误状态,第3、第4最小宽度的结果通知为 75
77
传感器上的影子边界没有足够的对比度来正确地确认元件边界。
缺乏元件影子(元件未完全遮住激光光束)时发生。
78
决定窗口的窗口参数低于 2000micron
79 窗口整体被遮挡。
80 窗口左端被遮挡。
81 窗口的右端被遮挡。
82 窗口两端被遮挡。
86 指定了无效的命令参数。
87 检测出无效的数据。
90 角度计算发生错误。
91 角度计算发生错误。
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10 手动控制
代码
说明
92 角度计算发生错误。
93 未能检测出元件的角。
94 角度计算发生错误。
95 角度计算发生错误。
96 角度计算发生错误。
98 最小宽度检测出之前,角度超过指定的界限。
99 开始的处理在下一个最小宽度检测开始之前未完成。
100 未能先于必要信息要求实行必要的初始化
102 设定的测量所需要的算法无效。
103 图像检查中的激光的亮度过低。因此,不能执行图像检查处理。(未计算值。
104 图像检查领域的边界未正确设定。
105 图像检查参数的比较失败。
106 发生了在当前设置的错误级别中未定义的错误。
为了使实际的状态代码有效,有必要改变错误级别。
107 OFAL 模块未初始化的状态下,执行了传感器功能
108 发送异步命令失败。
109 SWEEP 识别处理未结束。
110 设置目标为排他访问状态时,执行了其他设置目标。
111 设置目标为排他访问状态时,执行了软件升级。
112 与设置目标为排他状态无关,解除了排他状态。
113 由于其他原因,测量异常结束。
114 LNC60 内部发生了编码器错误,或贴片机的
θ
轴角度与 LNC60 内部的角度不同步。
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