FX-2_使用说明书 - 第641页
第 10 章 手动控制 3) 基板搬出 搬出基板。 选中控制 项目 [ 基板搬出 ] 时，选择 [ 运行 ] 按钮，或按 [F3] 键来控制。 4) 解除基板固定 解除基板固定。 选中控制项目的 [ 解除基板固定 ] 时，选择 [ 运行 ] 按钮，或按 [F3] 键来控制。在未完成返回 原点时执行解除基板固定可 解除 Y 钳夹取出基板。 5) 基板重新固定 按定位方式指定的方式重新 夹紧传送路上的基板。 选中控制项目 [ 基板重新固定 …
第 10 章 手动控制
(1) 控制项目
用单选按钮选择控制项目。
(2) 定位方式
用单选按钮选择定位方式。
在控制项目中选择了[初始化]、[基板搬出]、[解除基板固定]时，无法设定定位方式。
(3) 控制按钮
通过控制按钮操作控制项目。
按下控制按钮后，设备即开始运行。按下控制按钮前，请务必确认没有人在进
行设备内部的作业。另外，为防止人身伤害，设备运行中切勿把手伸入设备内
部，脸和头也不要靠近。
1) 初始化
进行基板传送初始化。
选中控制项目[初始化]时，选择[运行]按钮，或按[F3]键来控制。
2) 基板搬入
按定位方式指定的方式搬入基板。
选中控制项目[基板搬入] 时，选择[运行]按钮，或按[F3]键来控制。
采用定位孔基准时，需要输入基板厚度、基板 X 尺寸、基板 Y 尺寸；采用外形基准时，还
需要输入 Y 钳位推进量。
如果已经读取了生产程序，生产程序中所设定的值，将作为默认值显示。
警告
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第 10 章 手动控制
3) 基板搬出
搬出基板。
选中控制项目[基板搬出]时，选择[运行]按钮，或按[F3]键来控制。
4) 解除基板固定
解除基板固定。
选中控制项目的[解除基板固定] 时，选择[运行]按钮，或按[F3]键来控制。在未完成返回
原点时执行解除基板固定可解除 Y 钳夹取出基板。
5) 基板重新固定
按定位方式指定的方式重新夹紧传送路上的基板。
选中控制项目[基板重新固定] 时，选择[运行]按钮，或按[F3]键来控制。
采用定位孔基准时，要输入基板厚度、基板 X 尺寸、基板 Y 尺寸；采用外形基准时，还需
要输入 Y 钳位推进量。
已读取生产程序时，在生产程序中所设定的值，将作为默认值显示。
(4) 状态显示
连续显示运行、各传感器、各信号、各单元的状态。
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第 10 章 手动控制
10-2-3-3 自动调整基板宽度控制
选择菜单栏的[控制]→[传送]→[自动调整基板宽度]后，显示下图的[自动调整基板宽度]对话框。
图
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自动调整基板宽度对话框
(1) 控制单元
用单选按钮选择控制单元。
* 在机器设置的使用单元中，未选中自动调整基
板宽度
的情况下，不能选择“入口/出口缓冲器”。
(2) 控制项目
用单选按钮选择控制项目。
(3) 控制按钮
用控制按钮操作控制项目。
按下控制按钮后，设备即开始运行。按下控制按钮前，请务必确认没有人在进
行设备内部的作业。另外，为防止人身伤害，设备运行中切勿把手伸入设备内
部，脸和头也不要靠近。
警告
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