FX-2_使用说明书 - 第663页
第 11 章 预热 (2) 固定速度的默认值 在 [ 预热 ] 对话框的 [ 固定速度 ] 框中设置速度默认值。 这里设置的值，在按下 [ 保存设置 ] 按钮后，从下次显示 [ 预热 ] 对话框时有效。 [ 低速→高速 ] 的转换条件 在 [ 预热 ] 对话框里设置速度，设置 [ 低速→高速 ] 的转换条件。 [ 提高速度 ] 、 [ 继续提高 ] 选项按钮 (1) [ 提高速度 ] ： 按文本框和 [ 时间（分） ] 、 [ 次数 ]…
第 11 章 预热
11-2 详细设定
* [详细设定]只有用户级别在管理者以上的才可以设置。
从速度设置中选择[低速→高速]、按下[详细设定]按钮后，显示下列[预热详细设定]对话
框。
图
11-2-1
[预热详细设定] 对话框
速度条件
(1) 对最高速度的比率
设置低速、中速、高速对最高速度的比率。
输入数值，或者按数字变化钮（上下箭头）设置。比率以百分之五为单位。
低速：5～100
输入比中速值大的数值时，中速值相应上升。如果输入比高速值还大的值时，高速值也
相应上升。
中速：5～100
输入比高速值大的数值时，高速值相应上升。输入比低速值小的值时，低速值相应下降。
高速：5～100
输入比中速值小的数值时，中速值相应下降。如果输入比低速值小的值时，低速值相应
下降。
速度条件
低速→高速的转换条件
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第 11 章 预热
(2) 固定速度的默认值
在[预热]对话框的[固定速度]框中设置速度默认值。
这里设置的值，在按下[保存设置]按钮后，从下次显示[预热]对话框时有效。
[低速→高速]的转换条件
在[预热]对话框里设置速度，设置[低速→高速]的转换条件。
[提高速度]、[继续提高]选项按钮
(1) [提高速度]：
按文本框和[时间（分）]、[次数]单选项中指定的数值进行转换。
以低速的速度条件运转一定时间（或者次数）后，再以中速的速度条件运转一定时间（或
者次数），之后以高速的速度条件运转。
比如：设置为
低速→中速：5
中速→高速：5
时间（分）
的情况下，低速运转 5 分钟后，中速运转 5 分钟，之后高速运转。
(2) [继续提高]：
使低速到高速的运行，按“低速到高速的执行周波数”分配的速度提高速度。
[从低速到高速的执行周波数]
设置从低速到到高速运行的周波数。
在相对于最高速度比低速设置为 50%、高速为 100%时的状态下，把[从低速到高速的执行周
波数]设置为 50 时，最初的周波数速度以最高速度的 50%运转、第二次以 51%运转、第三次
以 52%的速度运转，依次提高速度，到第 50 次以 100%的速度运转。
选择[提高速度]时，[从低速到高速的执行周波数]无效并浅色显示。
[确定]、[取消]、[保存设置]按钮
[确定] ：回到初始画面，用新设置的条件进行预热。
[取消] ：放弃设置的变更，回到[预热]对话框。
[保存设置] ：保存在[机械控制参数的设置]菜单中的
[其它][设置项目][预热]项目中。不关
闭本对话框。
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第 11 章 预热
11-3 预热运行内容
预热进行中显示如下对话框。
图
11-3-1
预热中对话框
轴
进行 XL、XR、Y、Y 台、Z、
θ
各轴马达和真空 SV、吹气 SV、CAL 校准台真空 SV、CAL 校准台照
明、信号灯、ATC 滑动板的运行操作。
但是，ATC 滑动板的运转在开、关 10 次后结束。
传送
进行 IN、OUT、CNT 各种马达、支撑台、停止挡销、基板察觉挡销运转操作。
但是，基板察觉挡销在运转 ON、OFF4 次后结束。
总操作信息
显示进行预热运转的总操作时间、总操作次数。
按下<STOP>开关，或者选择[停止]按钮后，显示对话框，要求确认结束。
在确认结束对话框中，选择[是]后，结束预热。选择[否] 后，继续进行预热。
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