FX-2_使用说明书 - 第746页

第 16 章维护 (4) 贴片头・贴片头切换电磁阀・贴片头上升气缸第 1 连第 6 连吸嘴过滤器开放大气压力传感器 V: 来自负压（ φ 8 ）真空泵 P: 来自正压（ φ 6 ）复式接头 V: 来自负压（ φ 8 ）真空泵 P: 来自正压（ φ 6 ）空气单元检查阀气缸气缸 16 -6

第 16 章维护

(3)台架

来自 manifold

16-5

第 16 章维护

(4)贴片头

・贴片头切换电磁阀

・贴片头上升气缸

第

1 连第 6

连

吸嘴

过滤器

开放大气

压力

传感器

V:

来自负压（

φ

8）真空泵

P:

来自正压（

φ

6）复式接头

V:

来自负压（

φ

8）真空泵

P:

来自正压（

φ

6

）空气单元

检查阀

气缸气缸

16-6

第 16 章维护

(5)

传送

(6)

CAL

来自复式接头

来自复式接头

通往

ATC

电磁阀

(L)

16-7