FX-2_使用说明书 - 第754页
第 16 章 维护 16 -2- 10 真空泵 1) 更换标准： 负压表下降到 - 87kPa 时，或机器 RevA 的泵使用超过 1.5 年，机器 RevB 以后版本机器的泵使用超过 1 年，即需进 行更换。 2) 确认真空压力 ① 请通过装置正面的负压表，检查真空泵运行时的真空压。 ② 当压力降低时，必须更换消耗零件。 16 -2- 10 -1 真空泵零件的更换（机器版本 Rev. B 以后） 压力较低时，可能是由于以下零件消耗引起…
第 16 章 维护
16-2-9 电气关联部分
16-2-9-1 一般注意事项
危险
要插拔各插头时，请先关闭电源。
．绝对不要在规格不同的电压下使用。
．接通电源时，请确认设备处于安全状态下。
．接通电源时，请确认设备内部没有正在作业的人。
．接通电源时，请确认没有安装、或放置会妨碍设备内部各项运行的物体(调
整工具等)。
．进行空气供应时，请切断电源后再操作。
16-2-9-2 日常检查事项
1. 请在供应电源额定电压的 ± 10% 以内使用设备。
2. 请确认各插头已经接好。（键盘、HOD 等）
危险
X 轴装置使用超强力磁石。做清洁工作时，请勿携带手表、手机及其他易
受磁石影响的物品。
手部等身体部分夹在受磁石吸引的物品和 X 轴单元中间时，可能发生重大
工伤。
X 轴装置使用超强力磁石。做清洁工作时，请勿携带手表、手机及其他易受
磁石影响的物品。
手部等身体部分夹在受磁石吸引的物品和 X
轴单元中间时，可能发生重大工
伤。
为了避免触电的重伤事故，请关闭电源总闸门。
电源总闸门，是指安装在建筑物的电源开关，不是指主机电源开关。
注意
警告
危险
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第 16 章 维护
16-2-10 真空泵
1) 更换标准：负压表下降到-87kPa 时，或机器 RevA 的泵使用超过 1.5
年，机器 RevB 以后版本机器的泵使用超过 1 年，即需进
行更换。
2) 确认真空压力
① 请通过装置正面的负压表，检查真空泵运行时的真空压。
② 当压力降低时，必须更换消耗零件。
16-2-10-1 真空泵零件的更换（机器版本 Rev. B 以后）
压力较低时，可能是由于以下零件消耗引起的。
＜消耗零件列表＞ 更换零件组货号：40068178
检查位置 使用数量 检查内容 检查方法
真
空
泵
内
部
吸气阀防干扰橡胶 4
有无变形、磨损、硬化、龟裂等
目检
吸、排气阀 12
有无变形、硬化、欠缺
目检
排气阀支撑 4 有无异常的磨损、硬化、龟裂等 目检
皮碗垫圈
CUP PACKING
4
有无异常的磨损、硬化、龟裂等 目检
垫圈 4 有无变形、硬化、龟裂等 目检
吸气阀支撑 4 有无异常的磨损、硬化、龟裂等 目检
外
部
尼龙管 4 有无变形、硬化、龟裂等 目检
消声器 1 有无变形、硬化、龟裂等 目检
※真空泵部件的检查·更换
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第 16 章 维护
<准备更换>
1） 请确认真空泵①没有运转。
（刚停止运行后温度很高，请注意）
2） 请拆下真空泵单元的外装盖子
3） 拆下连接真空泵的空气管，
用六角扳手拆下②的泵支撑架。
4） 从③VP_底座上拉出真空泵。
（拉出时请注意连接的束线。）
5） 打开接线盒的盖子，拆除连接到
接线柱上的电线④。
6） 用对边 5mm 的六角扳手拧下固定把手的
内六角螺丝 M6×L16。
7） 请将泵纵向放置，使要更换的头盖位于上部。
④
①
②
③
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