FX-2_使用说明书 - 第755页
第 16 章 维护 < 准备更换 > 1 ） 请确认真空泵①没有运转。 （刚停止运行后温度很高，请注意） 2 ） 请拆下真空泵单元的外装盖子 3 ） 拆下连接真空泵的空气管， 用六角扳手拆下②的泵支撑架。 4 ） 从③ VP_ 底座上拉出真空泵。 （拉出时请注意连接的束线。） 5 ） 打开接线盒的盖子，拆除连接到 接线柱上的电线④。 6 ） 用对边 5 mm 的六角扳手拧下固定把手的 内六角螺丝 M6×L16 。 7 ） 请…
第 16 章 维护
16-2-10 真空泵
1) 更换标准：负压表下降到-87kPa 时，或机器 RevA 的泵使用超过 1.5
年，机器 RevB 以后版本机器的泵使用超过 1 年，即需进
行更换。
2) 确认真空压力
① 请通过装置正面的负压表，检查真空泵运行时的真空压。
② 当压力降低时，必须更换消耗零件。
16-2-10-1 真空泵零件的更换（机器版本 Rev. B 以后）
压力较低时，可能是由于以下零件消耗引起的。
＜消耗零件列表＞ 更换零件组货号：40068178
检查位置 使用数量 检查内容 检查方法
真
空
泵
内
部
吸气阀防干扰橡胶 4
有无变形、磨损、硬化、龟裂等
目检
吸、排气阀 12
有无变形、硬化、欠缺
目检
排气阀支撑 4 有无异常的磨损、硬化、龟裂等 目检
皮碗垫圈
CUP PACKING
4
有无异常的磨损、硬化、龟裂等 目检
垫圈 4 有无变形、硬化、龟裂等 目检
吸气阀支撑 4 有无异常的磨损、硬化、龟裂等 目检
外
部
尼龙管 4 有无变形、硬化、龟裂等 目检
消声器 1 有无变形、硬化、龟裂等 目检
※真空泵部件的检查·更换
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第 16 章 维护
<准备更换>
1） 请确认真空泵①没有运转。
（刚停止运行后温度很高，请注意）
2） 请拆下真空泵单元的外装盖子
3） 拆下连接真空泵的空气管，
用六角扳手拆下②的泵支撑架。
4） 从③VP_底座上拉出真空泵。
（拉出时请注意连接的束线。）
5） 打开接线盒的盖子，拆除连接到
接线柱上的电线④。
6） 用对边 5mm 的六角扳手拧下固定把手的
内六角螺丝 M6×L16。
7） 请将泵纵向放置，使要更换的头盖位于上部。
④
①
②
③
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第 16 章 维护
<头盖的拆除方法>
1)请用六角扳手拧下固定头盖的 4 个
M6×L30 内六角螺丝。
2) 拆下头盖。
<气缸的拆除方法>
1）拆下气缸前，请对准外壳部位在压板上用
油性笔做标记。
2)请戴上手套将风扇慢慢向上旋转。
（这时，必须要戴上手套）
3)请向上拆除气缸。
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