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Tg0854-PM-ER 0304-001 2-1 12 異常コード 異常コード 異常コード 異常コード 異常コード A A A A A 部表示 部表示 部表示 部表示 部表示 B B B B B 部表示 部表示 部表示 部表示 部表示 3. 異常表示からのトラブルシューティング 62 03 0 1 P コンベア タイムオーバー P コンベア上で基板が停滞しました。 62 03 02 P コンベア タイムオーバー L コンベアからの基板…
Tg0854-PM-ER0304-001 2-111
異常コード異常コード
異常コード異常コード
異常コード
AA
AA
A
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部表示
BB
BB
B
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3. 異常表示からのトラブルシューティング
62 02 01 L コンベア タイムオーバー 前工程からの基板搬送が所定時間内に終了しませんで
した。
62 02 02 Lコンベア タイムオーバー
後工程への基板排出が所定時間内に終了しませんでし
た。
62 02 03 Lコンベア タイムオーバー Lコンベア上で基板が停滞しました。
62 02 04 Lコンベア タイムオーバー ELコンベアからの基板搬送が所定時間内に終了しません
でした。
62 02 05 Lコンベア タイムオーバー Pコンベアからの基板搬送が所定時間内に終了しません
でした。
(要因 1) コンベア上で基板が引っかかっていることが考えられます。
(要因 2) コンベア幅の調整不良が考えられます。
(要因 3) 基板寸法が大きいことが考えられます。
(要因 4) コンベアタイマーの時間が不適切なことが考えられます。
(要因 5) 基板が搬送されている途中で、人が基板を抜き取ったことが考えられます。
(要因 1、2、3、4、5 の復帰方法)
復帰手順
(1) 引っかかっている基板を取り出してください。
(2) 運転を再開してください。
(3) 運転を再開できない場合は、センサケーブル・センサの不良等が考えられますので、
当社サービス員にご連絡ください。
Tg0854-PM-ER0304-001 2-112
異常コード異常コード
異常コード異常コード
異常コード
AA
AA
A
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部表示
BB
BB
B
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3. 異常表示からのトラブルシューティング
62 03 01 P コンベア タイムオーバー P コンベア上で基板が停滞しました。
62 03 02 P コンベア タイムオーバー L コンベアからの基板搬送が所定時間内に終了しません
でした。
62 03 03 Pコンベア タイムオーバー R コンベアからの基板搬送が所定時間内に終了しません
でした。
62 03 04 Pコンベア タイムオーバー 基板ストッパ L の動作が所定時間内に終了しませんで
した。
62 03 05 Pコンベア タイムオーバー 基板ストッパ R の動作が所定時間内に終了しませんで
した。
(要因 1) コンベア上で基板が引っかかっていることが考えられます。
(要因 2) コンベア幅の調整不良が考えられます。
(要因 3) 基板寸法が大きいことが考えられます。
(要因 4) コンベアタイマーの時間が不適切なことが考えられます。
(要因 5) 基板が搬送されている途中で、人が基板を抜き取ったことが考えられます。
(要因 1、2、3、4、5 の復帰方法)
復帰手順
(1) 引っかかっている基板を取り出してください。
(2) 運転を再開してください。
(3) 運転を再開できない場合は、センサケーブル・センサの不良等が考えられますの
で、当社サービス員にご連絡ください。
Tg0854-PM-ER
(要因 1) コンベア上で基板が引っかかっていることが考えられます。
(要因 2) コンベア幅の調整不良が考えられます。
(要因 3) 基板寸法が大きいことが考えられます。
(要因 4) コンベアタイマーの時間が不適切なことが考えられます。
(要因 5) 基板が搬送されている途中で、人が基板を抜き取ったことが考えられます。
(要因 1、2、3、4、5 の復帰方法)
復帰手順
(1) 引っかかっている基板を取り出してください。
(2) 運転を再開してください。
(3) 運転を再開できない場合は、センサケーブル・センサの不良等が考えられますの
で、当社サービス員にご連絡ください。
0304-001 2-113
異常コード異常コード
異常コード異常コード
異常コード
AA
AA
A
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部表示部表示
部表示
BB
BB
B
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部表示部表示
部表示
3. 異常表示からのトラブルシューティング
62 04 05 R コンベア タイムオーバー P コンベアからの基板搬送が所定時間内に終了しません
でした。
62 04 03 Rコンベア タイムオーバー
Rコンベア上で基板が停滞しました。
62 04 04 R コンベア タイムオーバー ER コンベアからの基板搬送が所定時間内に終了しませ
んでした。
62 04 01 R コンベア タイムオーバー
62 04 02 Rコンベア タイムオーバー
前工程からの基板搬送が所定時間内に終了しませんで
した。
後工程への基板排出が所定時間内に終了しませんでし
た。