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Tg0854-PM-ER 0304-001 2-121 異常コード 異常コード 異常コード 異常コード 異常コード A A A A A 部表示 部表示 部表示 部表示 部表示 B B B B B 部表示 部表示 部表示 部表示 部表示 3. 異常表示からのトラブルシューティング 62 09 09 R コンベア 基板検出 基板排出完了前に P コンベアへの基板搬送が中断されま した。 ( 要因 1 ) 装置の自己診断によるメッセージです。…
Tg0854-PM-ER
62 09 05 R コンベア 基板検出 Rコンベア上で基板が停滞しました。
(要因 1) コンベア上で基板が引っかかっていることが考えられます。
(要因 2) コンベア幅の調整不良が考えられます。
(要因 3) 基板寸法が大きいことが考えられます。
(要因 4) 基板が搬送されている途中で、人が基板を抜き取りました。
(要因 1、2、3、4 の復帰方法)
復帰手順
(1)[警報解除]キーを押し、ブザー音を停止させてください。
(2) Rコンベア上の基板を取り除いてください。
(3) [全原点復帰] ボタンで原点復帰を行ってください。
(4) 運転を再開してください。
(5) 運転が再開できない場合は、当社サービス員にご連絡ください。
0304-001 2-120
異常コード異常コード
異常コード異常コード
異常コード
AA
AA
A
部表示部表示
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部表示
BB
BB
B
部表示部表示
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部表示
3. 異常表示からのトラブルシューティング
62 09 04 R コンベア 基板検出 R コンベア上に基板が 2 枚存在します。
62 09 03 R コンベア 基板検出 Rコンベア (入口) で基板が停滞しています。
(要因 1) コンベア上で基板が引っかかっています。
(要因 2) コンベア幅の調整不良が考えられます。
(要因 3) 基板寸法が大きいことが考えられます。
(要因 4) 基板が搬送されている途中で、人が基板を抜き取りました。
(要因 1、2、3、4 の復帰方法)
復帰手順
(1)[警報解除]キーを押し、ブザー音を停止させてください。
(2) Rコンベア入口の基板を取り除いてください。
(3) [全原点復帰] ボタンで原点復帰を行ってください。
(4) 運転を再開してください。
(5) 運転が再開できない場合は、当社サービス員にご連絡ください。
(要因 1) 装置の自己診断によるメッセージです。
(要因 1 の復帰方法)
復帰手順
(1)[警報解除]キーを押し、ブザー音を停止させてください。
(2) Rコンベア上の不適切な位置の基板を取り除いてください。
(3) [全原点復帰] ボタンで原点復帰を行ってください。
(4) 運転を再開してください。
(5) 運転が再開できない場合は、当社サービス員にご連絡ください。
Tg0854-PM-ER0304-001 2-121
異常コード異常コード
異常コード異常コード
異常コード
AA
AA
A
部表示部表示
部表示部表示
部表示
BB
BB
B
部表示部表示
部表示部表示
部表示
3. 異常表示からのトラブルシューティング
62 09 09 R コンベア 基板検出 基板排出完了前にPコンベアへの基板搬送が中断されま
した。
(要因 1) 装置の自己診断によるメッセージです。
(要因 1 の復帰方法)
復帰手順
(1)[警報解除]キーを押し、ブザー音を停止させてください。
(2) R コンベア上で基板が停滞していないか、P コンベアに異常がないか確認してくださ
い。
(3) [全原点復帰] ボタンで原点復帰を行ってください。
(4) 運転を再開してください。
(5) 運転が再開できない場合は、当社サービス員にご連絡ください。
62 09 08 R コンベア 基板検出 基板検出 R (左) を検出前にERコンベアからの基板搬
送が中断されました。
(要因 1) 装置の自己診断によるメッセージです。
(要因 1 の復帰方法)
復帰手順
(1)[警報解除]キーを押し、ブザー音を停止させてください。
(2) R コンベア上で基板が停滞していないか、ER コンベアに異常がないか確認してくださ
い。
(3) [全原点復帰] ボタンで原点復帰を行ってください。
(4) 運転を再開してください。
(5) 運転が再開できない場合は、当社サービス員にご連絡ください。
62 09 06 R コンベア 基板検出 Rコンベア上に不適切な基板が存在します。
(要因 1) 装置の自己診断によるメッセージです。
(要因 1 の復帰方法)
復帰手順
(1)[警報解除]キーを押し、ブザー音を停止させてください。
(2) Rコンベア上の不適切な位置の基板を取り除いてください。
(3) [全原点復帰] ボタンで原点復帰を行ってください。
(4) 運転を再開してください。
(5) 運転が再開できない場合は、当社サービス員にご連絡ください。
62 09 07 R コンベア 基板検出
(要因 1) 装置の自己診断によるメッセージです。
(要因 1 の復帰方法)
復帰手順
(1)[警報解除]キーを押し、ブザー音を停止させてください。
(2) Rコンベア上からの基板落下がないか確認してください。
(3) [全原点復帰] ボタンで原点復帰を行ってください。
(4) 運転を再開してください。
(5) 運転が再開できない場合は、当社サービス員にご連絡ください。
Rコンベア上から適切な基板が取り除かれました。
Tg0854-PM-ER0304-001 2-122
異常コード異常コード
異常コード異常コード
異常コード
AA
AA
A
部表示部表示
部表示部表示
部表示
BB
BB
B
部表示部表示
部表示部表示
部表示
3. 異常表示からのトラブルシューティング
62 09 10Rコンベア 基板検出 基板受け取り完了前にPコンベアからの基板搬送が中断
されました。
(要因 1) 装置の自己診断によるメッセージです。
(要因 1 の復帰方法)
復帰手順
(1)[警報解除]キーを押し、ブザー音を停止させてください。
(2) R コンベア上で基板が停滞していないか、P コンベアに異常がないか確認してくださ
い。
(3) [全原点復帰] ボタンで原点復帰を行ってください。
(4) 運転を再開してください。
(5) 運転が再開できない場合は、当社サービス員にご連絡ください。