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Tg0854-PM-ER 異常コード 異常コード 異常コード 異常コード 異常コード A A A A A 部表示 部表示 部表示 部表示 部表示 B B B B B 部表示 部表示 部表示 部表示 部表示 6C 03 0 1 継続運転不可 仕掛かり基板の継続ができません。 (WARM スタート必要 ) ( 要因 1 ) 装置の自己診断によるメッセージです。 通常の再始動操作をしてしまうと、 仕掛かり中の基板を後工程に排出してしま い、 …
Tg0854-PM-ER0304-001 2-138
異常コード異常コード
異常コード異常コード
異常コード
AA
AA
A
部表示部表示
部表示部表示
部表示
BB
BB
B
部表示部表示
部表示部表示
部表示
3. 異常表示からのトラブルシューティング
6C 02 01 準備未完了 Aビーム側が準備完了になっていません。
(要因 1) 装置の自己診断によるメッセージです。
(要因 1 の復帰方法)
復帰手順
(1)[警報解除]キーを押し、ブザー音を停止させてください。
(2) [準備完了[A]]ボタンで準備完了にしてください。
(3) [全原点復帰] ボタンで原点復帰を行ってください。
(4) 運転を再開してください。
(5) 運転が再開できない場合は、当社サービス員にご連絡ください。
6C 02 02 準備未完了 Bビーム側が準備完了になっていません。
(要因 1) 装置の自己診断によるメッセージです。
(要因 1 の復帰方法)
復帰手順
(1)[警報解除]キーを押し、ブザー音を停止させてください。
(2) [準備完了[B]]ボタンで準備完了にしてください。
(3) [全原点復帰] ボタンで原点復帰を行ってください。
(4) 運転を再開してください。
(5) 運転が再開できない場合は、当社サービス員にご連絡ください。
Tg0854-PM-ER
異常コード異常コード
異常コード異常コード
異常コード
AA
AA
A
部表示部表示
部表示部表示
部表示
BB
BB
B
部表示部表示
部表示部表示
部表示
6C 03 01 継続運転不可 仕掛かり基板の継続ができません。
(WARM スタート必要)
(要因 1) 装置の自己診断によるメッセージです。
通常の再始動操作をしてしまうと、仕掛かり中の基板を後工程に排出してしま
い、不良基板を作ってしまうことになりますので、以下の正しい復帰を行って
ください。
““
““
“
継継
継継
継
続続
続続
続
運運
運運
運
転転
転転
転
不不
不不
不
可可
可可
可
””
””
”
の異常表示画面例の異常表示画面例
の異常表示画面例の異常表示画面例
の異常表示画面例
(次ページへ続く)
3. 異常表示からのトラブルシューティング
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Fig.3B4Fig.3B4
Fig.3B4Fig.3B4
Fig.3B4
Tg0854-PM-ER0304-001 2-140
3. 異常表示からのトラブルシューティング
異常コード異常コード
異常コード異常コード
異常コード
AA
AA
A
部表示部表示
部表示部表示
部表示
BB
BB
B
部表示部表示
部表示部表示
部表示
(要因 1 の復帰方法)
復帰手順
(1) 一緒に異常登録されている他のメッセージを確認してください。
(2) [復帰] ボタンを押すと、以下の画面が表示されます。
(3) [WARM スタート]キーを押してください。
以下の“WARM スタート”画面が表示されますので、全原点復帰後、WARM スタート
を行い仕掛かり中の基板を完成してください。
WARM スタートの詳細については、“第 1 編 3 節の 4.3 WARM スタート”を参照してく
ださい。
Fig.3B5Fig.3B5
Fig.3B5Fig.3B5
Fig.3B5
Fig.3B6Fig.3B6
Fig.3B6Fig.3B6
Fig.3B6