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Tg0854-PM-ER 1 . 1 部品吸着率低下要因の確認と対策 0304-001 1-9 真空センサの動作は正常ですか？ 真空センサの動作は正常ですか？ 真空センサの動作は正常ですか？ 真空センサの動作は正常ですか？ 真空センサの動作は正常ですか？ *4 *4 *4 *4 *4 真空センサの動作を確認してください。部品を吸着していない状態 で、真空センサが OFF 、部品を吸着した状態で真空センサが ON する ことを確認してくだ…
Tg0854-PM-ER
1 . 1 部品吸着率低下要因の確認と対策
0304-001 1-8
部品の吸着位置は正常ですか？部品の吸着位置は正常ですか？
部品の吸着位置は正常ですか？部品の吸着位置は正常ですか？
部品の吸着位置は正常ですか？
*1 *1
*1 *1
*1
部品の吸着位置がズレている場合、部品認識範囲をはみ出たり、吸
着ノズルが映り込んで部品認識異常が出ます。また、吸着時の真空
のリークが出て、真空センサが働かない等の異常が発生します。
“ティーチング”→“吸着位置教示” 画面で、吸着位置の教示を行っ
てください。
部品認識は正常ですか？部品認識は正常ですか？
部品認識は正常ですか？部品認識は正常ですか？
部品認識は正常ですか？
*2 *2
*2 *2
*2
部品認識に問題がないか、確認してください。“1.2.3 部品認識カ
メラ部での精度悪化要因” を参考にして、部品認識が正常に行われ
ているか確認します。
真空センサで検出できる部品ですか？真空センサで検出できる部品ですか？
真空センサで検出できる部品ですか？真空センサで検出できる部品ですか？
真空センサで検出できる部品ですか？
*3 *3
*3 *3
*3
吸着面がフラットでなかったり、吸着面が粗い部品の場合、真空が
リークして、真空センサで検出できません。部品ライブラリで真空
センサによる検出を指定している場合は、真空センサによる検出を
行わないように設定してください。
1.1.6 1.1.6
1.1.6 1.1.6
1.1.6
正常に部品を吸着しているが吸着異常となる場合正常に部品を吸着しているが吸着異常となる場合
正常に部品を吸着しているが吸着異常となる場合正常に部品を吸着しているが吸着異常となる場合
正常に部品を吸着しているが吸着異常となる場合
Tg0854-PM-ER
1 . 1 部品吸着率低下要因の確認と対策
0304-001 1-9
真空センサの動作は正常ですか？真空センサの動作は正常ですか？
真空センサの動作は正常ですか？真空センサの動作は正常ですか？
真空センサの動作は正常ですか？
*4 *4
*4 *4
*4
真空センサの動作を確認してください。部品を吸着していない状態
で、真空センサがOFF、部品を吸着した状態で真空センサがONする
ことを確認してください。
確認手順確認手順
確認手順確認手順
確認手順
(1) “段取作業”→“手動動作” 画面で [A ビーム エア供給]､ [B
ビーム エア供給] を両方とも“切り”にします。
(2) [L** 軸 吸着 / ブロー] を“入り”にして [作動] ボタンを押
します。
(3) “初期画面”→“装置メンテナンス”→“装置診断”→“入力
チェック” 画面で [DIO] キーを押します。さらに [INP2-10]
キーを押し、 [ページ送り] キーを押して 4 または 5 ページ目
を表示させます。“L** 軸真空センサ” が “OFF” であること
を確認します。
(4) “段取作業”→“原点復帰動作” 画面でXY ビームを原点復帰さ
せます。
(5) “段取作業”→“インチング動作” 画面で手が届くところまで
XY ビームを移動させます。
(6) 確認する側の [運転モード] 切替えスイッチを“段取”側へ切
替えます。
(7) 確認する側の [準備完了] ボタンを押して、補給カバー・安全
バー電磁ロックを解除させます。
(8) 確認する側の補給カバーを開きます。
(9) 部品を手付けで吸着させ、どのように切替わるか確認します。
手順(3)の画面を表示させ、“L**軸真空センサ”が“OFF”→“ON”
に切替われば正常です。
正常に切替わらない場合は、他の吸着ノズルでも異常があるか、
吸着ノズルを切替えて確認します。ノズル切替え後もセンサに
異常がある場合は、装着ヘッドの真空フィルタがつまっていな
いか確認してください。
注注
注注
注 : (a) 真空センサの判定レベルは、吸着ノズル装着時に自動的に
設定されます。再設定するときは “ノズル装着・収納動
作” 画面でノズル切替えを手動で行います。
吸着ノズルの手付けは行わないでください。
詳細は、“第 1 編 4 節の 9. ノズル装着・収納動作” を参
照してください。
(b) 真空フィルタが正常なのにセンサが正常に切替わらない場
合は、センサが故障している可能性がありますので当社営
業部までご相談ください。
真空フィルタの確認については、“第 4 編 1節の 6. 毎月
メンテナンス、装着ヘッド” を参照してください。
(c) 確認には、吸着穴内径が φ 2 mm 以上の吸着ノズルを使用
してください。
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