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Tg0854-PM-ER 5. 基板認識異常の復帰方法 0304-001 1-24 5. 5. 5. 5. 5. 基板認識異常の復帰方法 基板認識異常の復帰方法 基板認識異常の復帰方法 基板認識異常の復帰方法 基板認識異常の復帰方法 生産運転中に基板認識異常が発生した場合に、 [ 復帰 ] ボタンを押すと、 “目 合わせ操作” 画面 (Fig.3A3 1 または Fig.3A32) が表示されます。表示され る操作画面および操作方法は …
4. ビーム異常接近検出の原因と復帰方法
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4. 4.
4. 4.
4.
ビーム異常接近検出の原因と復帰方法ビーム異常接近検出の原因と復帰方法
ビーム異常接近検出の原因と復帰方法ビーム異常接近検出の原因と復帰方法
ビーム異常接近検出の原因と復帰方法
装置保護を最優先としているため、装置の“運転中”、“一時停止”および“停
止中”を問わず、ビーム異常接近検出時には、即異常停止となり異常表示され
ます。
本異常は、通常発生することはありません。
本異常が発生した場合は、AビームとBビームが衝突していることが考えられ
ますので、当社営業部に連絡してください。
Fig3A30Fig3A30
Fig3A30Fig3A30
Fig3A30
ビーム異常接近検出の発生原因ビーム異常接近検出の発生原因
ビーム異常接近検出の発生原因ビーム異常接近検出の発生原因
ビーム異常接近検出の発生原因
• システムに異常がある。
• 機械的にズレが発生している。
AビームとBビームの衝突が発生していない場合は、次の手順で復帰してくだ
さい。ただし、生産途中の基板の継続はできませんので、“生産運転”→“サ
ブメニュー” 画面のステップ指定により運転を再開してください。
復帰手順復帰手順
復帰手順復帰手順
復帰手順
(1)[復帰] ボタンを押して、異常状態を解除します。
(2) [準備完了] ボタンを押して補給カバーのロックを解除します。
(3) 安全バー、補給カバー、メンテカバーを開き、AビームとBビームを手で
押して引き離します。
(4) メンテカバー、補給カバー、安全バーを閉じます。
(5) 異常が出ている場合は、異常内容を確認し、原因を除去してください。
(6) [電源入] ボタンを 2 秒程度押して、負荷電源を投入します。
(7) [復帰] ボタンを押して、異常状態を解除します。
システムクリアが実行されます。
(8) [準備完了] ボタンを押して補給カバーをロックします。
(9) [全原点復帰] ボタンを押して、各部を原点復帰してください。
原点復帰が完了したら、“生産運転”→“サブメニュー” 画面のステッ
プ指定により運転を再開してください。
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5. 基板認識異常の復帰方法
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5. 5.
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基板認識異常の復帰方法基板認識異常の復帰方法
基板認識異常の復帰方法基板認識異常の復帰方法
基板認識異常の復帰方法
生産運転中に基板認識異常が発生した場合に、 [復帰] ボタンを押すと、“目
合わせ操作” 画面 (Fig.3A31 または Fig.3A32) が表示されます。表示され
る操作画面および操作方法は“生産運転”→“サブメニュー”の“運転方法設
定”､“基板認識目合わせモード設定” で指定した内容により変わってきます。
基板認識目合わせモード基板認識目合わせモード
基板認識目合わせモード基板認識目合わせモード
基板認識目合わせモード :
標準標準
標準標準
標準
Fig.3A31Fig.3A31
Fig.3A31Fig.3A31
Fig.3A31
認識モニタに、クロスラインとクロスセンタ部に認識マークと同形状、同寸法
のテンプレートが表示されます。 (Fig.3A32参照)
Fig.3A32Fig.3A32
Fig.3A32Fig.3A32
Fig.3A32
実際の認識マークが認識モニタ上に表示されたクロスラインセンタ部のテンプ
レート表示に合うように XY ビームを移動させる操作を行います。
(目合わせ操作)
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5. 基板認識異常の復帰方法
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操作手順操作手順
操作手順操作手順
操作手順
(1) 実際の認識マークがクロスラインセンタに位置するように、XYビームを
移動するため方向指定 [ ] [ ] [ ] [ ] キーを選択し、速度指定
[高速] [低速] [1 パルス] キーを選んで [作動] ボタンを押します。
[高速] [低速] を選択した場合は、ボタンを押している間だけ XY ビー
ムが移動します。
[1 パルス] を選択している場合は、一度ボタンを押すと 1 パルス分 XY
ビームが移動します。
(2) 方向指定,速度指定を変更しながら、以下の図のように実際の認識マーク
がクロスラインセンタのテンプレート表示に合うようにXYビームを移動
させてください。
注注
注注
注 : 装着精度に影響しますので、速度指定の [1パルス] キーにて正確
に目合わせ操作を行う必要があります。
Fig.3A33Fig.3A33
Fig.3A33Fig.3A33
Fig.3A33
(3) 目合わせ操作が完了したら、 [目合わせ終了] キーを押してください。“生
産運転”画面に戻ります。
(4) [始動] ボタンを押すと、自動運転が再開します。
注注
注注
注 : 目合わせ操作完了時に押す [目合わせ終了] キーは1回しか受付けませ
ん。
•
目合わせ操作を誤って終了してしまった場合目合わせ操作を誤って終了してしまった場合
目合わせ操作を誤って終了してしまった場合目合わせ操作を誤って終了してしまった場合
目合わせ操作を誤って終了してしまった場合
装着位置不良を起こします (補正ズレが発生) ので次の処置を行ってくだ
さい。
操作手順操作手順
操作手順操作手順
操作手順
(1)[システムクリア] ボタンを押し、自動運転を中断します。
(2) 全原点復帰操作を行います。
(3) “生産運転”→“サブメニュー”画面の“生産運転ステップ指定” で、
運転を始動してください。