M6ex_ServiceManual_j.pdf - 第28页
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1．据付
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搬出シーケンス（SMEMA規格対応仕様）
① 搬出可能状態で後工程装置への搬送要求(BOARD AVAILABLE)出力を ON
します。
② 後工程装置への搬送要求(BOARD AVAILABLE)出力および後工程装置から
の搬送許可(MACHINE NOT READY)入力が ON すると搬送コンベアが ON し
ます。
③ 基板が出口センサに到着し ON した後、基板が通過し OFF すると後工程装置へ
の搬送要求(BOARD AVAILABLE)出力および搬送コンベアを OFF します。
④ 搬送コンベア ON 後、10 秒以内に後工程装置からの搬送許可(MACHINE NOT
READY)入力が OFF しない場合は搬送エラーを出力します。
⑤ エラー後の Start ボタン押下によりエラー前の動作を継続します。
1．据付
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2.点検
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2 点検