M6ex_ServiceManual_j.pdf - 第31页
2. 点検 2-3 ANC ・タワーの内外に不要物のないことを確認する。 ノズル ・汚れや変形等があれば手入れや交換を行なう。 ) 3.機械部、ノズル フィーダバンク ・フィーダバンクの上を清掃する。 ・フィーダバンク上のフィーダが浮いていないことを確認する。 (ヘッド破壊の原因となるので十分に注意すること。) MX-20 (オプション) ・パレット上に不要物のないことを確認する。 MXR-20 (オプション) ・パレット上に不要物のな…

2.点検
2-2
毎日の点検
目視点検
マウンタの電源(Main スイッチと Servo スイッチ)を投入する前に行なってください。
【NOTE】 供給元電源とエアコンプレッサはオン状態で行なってください。
項目 内容
屋内温度と湿度 ・温度と湿度の確認をする。
・温度 精度保証 23±2℃
機能保証 +5℃~+40 度
(24 時間を超える平均気温が 35℃以下の範囲とする)
・湿度 45%~60%(結露無きこと)
室内の環境 ・塵、ほこりが多い場合はエアーフィルタの汚れを点検する。
・腐食性ガスによる錆が目立つときは、排気口、リフロー炉、
洗浄器を点検する。
供給エアー ・フィルタレギュレータの圧力は 0.5MPa であるか確認する。
・ドレインに水があれば抜きとる。
水があればドライエアの温度調整を行ない水のたまりを防ぐ。
油分が含まれていれば原因を調査する。
部品捨てトイ (前・後) ・捨てトイの向きが正しいことを確認する。
・捨てトイの横端面がテープガイド (ステーション番号のシール
が貼ってあるプレート) の端面と合っていることを確認する。
・落下した電子部品等により、捨てトイが浮き上がっていない
ことを確認する。
コンベア ・装置間でコンベアの幅が合っていることを確認する。
・コンベア内に物がないことを確認する。
ヘッド移動範囲 ・ヘッド移動範囲内に不要物等が置かれていない事を確認する。
ス キ ャ ン カ メ ラ ・スキャンカメラのミラーとレンズに傷や汚れ等のないことを確認する。
汚れている場合は清掃する。
ミラーに結露、ほこりが付着すると照明光の反射率が低下するため照
明データを明るく変更することになり、かえって認識率を低下させるこ
とになります。これを防ぐために日々の清掃を心掛けてください。
)
3.機械部、カメラ
固定カメラ ・カメラ上のレンズ又はレンズフィルタに部品等の落下物や汚
れのないことを確認する。必要に応じて清掃を行なう。
)
3.機械部、カメラ

2.点検
2-3
ANC ・タワーの内外に不要物のないことを確認する。
ノズル ・汚れや変形等があれば手入れや交換を行なう。
)
3.機械部、ノズル
フィーダバンク ・フィーダバンクの上を清掃する。
・フィーダバンク上のフィーダが浮いていないことを確認する。
(ヘッド破壊の原因となるので十分に注意すること。)
MX-20 (オプション) ・パレット上に不要物のないことを確認する。
MXR-20 (オプション) ・パレット上に不要物のないことを確認する。
MX-ST2 (オプション) ・パレット上に不要物のないことを確認する。
入出力端子盤 ・コネクタ、エアーホースの接続を確認する。

2.点検
2-4
手動動作による点検
マウンタの電源(Main スイッチと Servo スイッチ)を投入後に行なってください。
マウンタの状態および運転動作が正常でない場合、エラーメッセージが表示されます。
項目 内容
Main ス イ ッ チ ・システムを起動し、メニュー画面の表示が正常であるかを確認する。
Servo スイッチ
・押したら点灯することを確認する。
点灯しなければシステムを終了し、再度立ち上げてみる。
EMERGENCY STOP
非常停止スイッチ
・機能の確認を行なう。
原点復帰 ・原点取り動作が正常であるか確認する。
ジョグ動作
・X、Y、Z、θ、S 軸を移動させる。
座標表示と動作時に異音がないことを確認する。
吸着動作
・吸着力の確認を行なう。
コンベア
・基板を流して動作を確認する。
ストッパ ・動作確認を行なう。
クランプ ・動作確認を行なう。
ANC ・動作確認を行なう。
ヘッド ・動作確認を行なう。
DI/DO チェック ・動作確認を行なう。
エアー圧力
・ヘッド詰り/ノズル詰り/ソレノイドバルブの確認を行なう。
)
3.機械部 ヘッド詰り/ノズル詰りと、ソレノイドバルブ故障の確認
X-Y テーブル
・X、Y 軸を移動させてボールネジ、リニアボールガイドからの
異音がないことを確認する。
・グリス切れをしていないか確認する。