M6ex_ServiceManual_j.pdf - 第32页
2. 点検 2-4 手動動作による点検 マウンタの電源（Main スイッチと Servo スイッチ）を投入後に行なってください。 マウンタの状態および運転動作が正常でない場合、エラーメッセージが表示されます。 項目 内容 Main ス イ ッ チ ・システムを起動し、メニュー画面の表示が正常であるかを確認する。 Servo スイッチ ・押したら点灯することを確認する。 点灯しなければシステムを終了し、再度立ち上げてみる。 EMERGEN…
2.点検
2-3
ANC ・タワーの内外に不要物のないことを確認する。
ノズル ・汚れや変形等があれば手入れや交換を行なう。
)
3.機械部、ノズル
フィーダバンク ・フィーダバンクの上を清掃する。
・フィーダバンク上のフィーダが浮いていないことを確認する。
（ヘッド破壊の原因となるので十分に注意すること。）
MX-20 (オプション) ・パレット上に不要物のないことを確認する。
MXR-20 (オプション) ・パレット上に不要物のないことを確認する。
MX-ST2 (オプション) ・パレット上に不要物のないことを確認する。
入出力端子盤 ・コネクタ、エアーホースの接続を確認する。
2.点検
2-4
手動動作による点検
マウンタの電源（Main スイッチと Servo スイッチ）を投入後に行なってください。
マウンタの状態および運転動作が正常でない場合、エラーメッセージが表示されます。
項目 内容
Main ス イ ッ チ ・システムを起動し、メニュー画面の表示が正常であるかを確認する。
Servo スイッチ
・押したら点灯することを確認する。
点灯しなければシステムを終了し、再度立ち上げてみる。
EMERGENCY STOP
非常停止スイッチ
・機能の確認を行なう。
原点復帰 ・原点取り動作が正常であるか確認する。
ジョグ動作
・X、Y、Z、θ、S 軸を移動させる。
座標表示と動作時に異音がないことを確認する。
吸着動作
・吸着力の確認を行なう。
コンベア
・基板を流して動作を確認する。
ストッパ ・動作確認を行なう。
クランプ ・動作確認を行なう。
ANC ・動作確認を行なう。
ヘッド ・動作確認を行なう。
DI/DO チェック ・動作確認を行なう。
エアー圧力
・ヘッド詰り/ノズル詰り/ソレノイドバルブの確認を行なう。
)
3.機械部 ヘッド詰り/ノズル詰りと、ソレノイドバルブ故障の確認
X－Y テーブル
・X、Y 軸を移動させてボールネジ、リニアボールガイドからの
異音がないことを確認する。
・グリス切れをしていないか確認する。
2.点検
2-5
月ごとの点検
月に 1 回、以下の点検を行なってください
項目 内容
LCD ・画面が汚れていれば清掃する。
ケーブル ・ケーブルベア、ケーブル固定用のビスにゆるみがないことを確認す
る。
・ケーブルベア内の付設ケーブルのフォームの乱れ、かすりキズ等がな
いことを確認する。
コネクタ ・各コネクタにゆるみがないことを確認する。
エアーホース ・各エアーホースのフォームおよび固定部分、ジョイント部分
に異常がないことを確認する。
・エアー漏れがないかチェックをする。
X-Y モータ ・X、Y 軸モータの温度（ケースを手で触ってみる）が異常に
熱くないことを確認する。
θモータ ・回転させてみて伝達ベルト、歯車にキズ等がないこと、干渉
する部分がないこと、保持トルク（励磁トルク）が十分である
ことを確認する。
Zモータ ・ヘッドをアップ・ダウンさせて、動きがスムーズなことを確認する。
ス キ ャ ン 軸 モ ー タ ・スキャンカメラを移動させ、その動きがスムーズなことを確認する。
吸着オン・オフ ・各々ヘッドについて吸着圧の確認をする。適正値でないと
きは、ノズルシャフトの清掃を行なう。
フィルタ（バキュームエジェクタ）が汚れていれば交換する。
コンベア ・コンベアの動作を確認する。ベルトのテンションを確認す
る。ベルトのキズ、摩耗を確認する。ベルト搬送経路にチッ
プ部品など異物の混入がないことを確認する。コンベアの
幅調整（広狭限度まで）の動きと、出入り口の各点での平行
度および基板の前後工程間の乗り移りを確認する。