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2-33 2 7. 检查对象的设置 7.1 设置检查对象的基本步骤 登录视野后，必须在各视野内设置检查对象 ( 检查单位 )。 1 打开 [ 数据编辑 ]-「检查对象」画面。 当前所选检查对象的信息显示在画面上部的基本信息栏里。 [数据编辑] -「检查对象」画面 基本信息栏 [复制]按钮 [插入粘贴]按钮 基准检查对象 26239-P9-00 2 创建检查对象。 1. 选择检查对象后，按 [ 复制 ] 按钮。 在各视野内创建第 …
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■ 利用保存的视野图像
打开保存的视野图像，可以确认所创建的检查数据和更改参数等。
1
选择要确认的检查对象。
[数据编辑] -「检查对象」画面
[图像列表]按钮
[图像列表]按钮
26237-P9-00
2
按 [ 数据编辑 ]-「检查对象」画面的 [ 图像列表 ] 按钮。
显示图像列表画面。
3
选择基板 ID。
从图像列表中选择想要显示的基板 ID 后，按 [ 选择 ] 按钮。
下侧的视野图像中切换为所选择的图像，对检查对象进行测试。测试结果为良品时，显示为「OK」；
测试结果为不良品时，显示为「NG」。如无法正确判定时，必须修改设置的参数。
图像列表
选择基板ID
26238-P9-00
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7.检查对象的设置
7.1 设置检查对象的基本步骤
登录视野后，必须在各视野内设置检查对象 ( 检查单位 )。
1
打开 [ 数据编辑 ]-「检查对象」画面。
当前所选检查对象的信息显示在画面上部的基本信息栏里。
[数据编辑] -「检查对象」画面
基本信息栏
[复制]按钮
[插入粘贴]按钮
基准检查对象
26239-P9-00
2
创建检查对象。
1. 选择检查对象后，按 [ 复制 ] 按钮。
在各视野内创建第 1 个检查对象时，必须选择显示在基本信息栏内的基准检查对象 ( 检查项目为跳过 )。
2. 选择要插入检查对象的行，按 [ 插入粘贴 ] 按钮插入检查对象。
3. 显示「添加检查对象」对话框后，指定要添加的位置，按 [OK] 按钮。
添加检查对象的对话框
26240-P9-00
参考
‧
如选择基本信息栏内检查项目显示为跳过的检查对象进行添加后，被添加的检查对象以红框显示在视野中央。
‧
如选择已创建的检查对象进行添加时，被添加的检查对象以红框显示在复制源检查对象右下 0.2mm 处。
3
设置检查框的位置和大小。
用拖动鼠标移动所添加的检查对象，或用鼠标拖动检查对象的各边将检查对象物框住。
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4
选择基本参数的检查项目。
选择想要对所创建的检查框内的检查对象物进行检查的检查项目。
n
要点
检查项目与相关参数的详细内容，参照本章「8. 检查项目」。
检查框的创建
所创建的检查框 选择检查项目
26241-P9-00
5
假设「检出条件」参数中的界限值。
假设「界限值下限 1」和「界限值上限 1」。输入或从下拉框中选择以下数值。
界限值下限 1 ：80
界限值上限 1 ：120
参考
有些检查项目不会显示界限值。
检出条件参数
界限值的设置
假设界限值
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