YSi_Prog_C - 第149页

2-70 2 8.8 极性检查 要检查 IC 元件等的极性标记时, 使用此检查项目。但, 极性标记的种类不同, 可能有更适合使用「亮度值」 、 「对比」 检查项目的情况。 1 设置检查对象。 1. 创建检查对象框。 在圆形标记处创建检查对象框时,必须创建得比标记圆的外周稍小。 2. 将检查项目设置为「极性检查」 。 3. 设置界限值。 参考 检查对象框的创建和界限值的设置,参照本章前述「7.1 设置检查对象的基本步骤」 。 检查项目 极…

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再次对检查对象执行测试。
1. [ 对象测试 ] 按钮,再次执行测试。
2. 确认实测数据后,按 [ 结束测试 ] 按钮。
实测数据
Threshold No. 检查时所用界限值的号码。
dx=、dy= 检查对象框中心与检出范围中心的偏移量。
Area= 「h. 形状检查」中所设置的比率 (%)。
3. 根据测试结果,修改「检出条件」和「判定条件」参数。
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8.8 极性检查
要检查 IC 元件等的极性标记时,使用此检查项目。但,极性标记的种类不同,可能有更适合使用「亮度值」「对比」
检查项目的情况。
1
设置检查对象。
1. 创建检查对象框。
在圆形标记处创建检查对象框时,必须创建得比标记圆的外周稍小。
2. 将检查项目设置为「极性检查」
3. 设置界限值。
参考
检查对象框的创建和界限值的设置,参照本章前述「7.1 设置检查对象的基本步骤」
检查项目
极性检查
设置为「极性检查」
26284-P9-00
2
设置检出条件参数。
打开「检出条件」选项卡,设置下列参数。
检出条件参数
检查项目:极性检查
[基准面积]按钮
26285-P9-00
A. 基准面积 (mm
2
)
[ 基准面积 ] 按钮,自动设置创建的检查对象框的面积。
C、D. 最小检出尺寸 X、Y(mm)
设置可以作为检查对象物检出的最小尺寸。X Y 都输入 0.06 作为初始值。
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3
设置判定条件参数。
打开「判定条件」选项卡,设置下列参数。
判定条件参数
检查项目:极性检查
26286-P9-00
A D. 容许偏移量 N W(mm)
设置发生位置偏移时的容许范围。( 参考值为 0.200)
L. 最小面积 (%)
设置判定面积时的最小面积。( 参考值为 50%)
M. 最大面积 (%)
设置判定面积时的最大面积。( 参考值为 150%)
4
对检查对象执行测试。
1. [ 对象测试 ] 按钮,对创建的检查对象执行测试。
2. 确认实测数据后,按 [ 结束测试 ] 按钮。
3. 测试结果为「OK」时,按 [ 解答 ] 按钮,打开「检查结果」对话框后,按 [ 自动计算 ] 按钮。检出条件
参数中的「C. 最小检出尺寸 X」和「D. 最小检出尺寸 Y」中会分别被输入 X、Y 宽度实测值的 50%。
5
更改检查对象框的尺寸。
为避免受极性标记周围的影响而发生「容许偏移量 NG」的错误判定,必须将检查对象框的尺寸修改为极
性标记的 1.5 2 倍。修改基本参数中的「M、N. 检查框尺寸 X、Y」
6
更改「容许偏移量」
将判定条件参数中的「A D. 容许偏移量 N W(mm)」全部设置为「SKIP」
7
再次对检查对象执行测试。
1. [ 对象测试 ] 按钮,再次执行测试。
2. 确认实测数据后,按 [ 结束测试 ] 按钮。
实测数据
Threshold No. 检查时所用界限值的号码。
dx=、dy= 检查对象框中心与检出范围中心的偏移量。
Area= 所检出的面积相对于基准面积的比率 (%)。
3. 根据测试结果,修改「检出条件」和「判定条件」参数。