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2-5 2 1.3 检查方法 要进行检查,首先必须使用上中下 3 层照明对各个视野拍摄图像。上层位置有 2 种照明,一共可以拍摄 4 张图像。 以此 4 张图像为基础,从图像列表中选择照明 ( 图像处理方法 ) 后调节亮度 (255 级浓淡 ) 使检查部位显示为红色。 以显示为红色时的像素值和位置为基础进行检查。 ■ 照明 3层照明 U :上层照明 (IR)、H : 上层照明 M :中层照明 L :下层照明 25200-P9-00 ■ …

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1.2 视野与检查对象
以下,介绍视野和检查对象。此两项内容是构成检查数据的基本内容。
■ 视野
相机拍摄 1 次所构成的检查范围,称为视野。检查机的机型不同,视野尺寸也不相同。在基板上想要检查的对象元件位置处
创建视野,使视野框住所有要检查的元件。视野的边框颜色,按照创建的顺序,分别按 7 种颜色「黄→红→绿→蓝→粉红→
紫→浅蓝」的顺序依次显示。
视野的创建例
26208-P9-00
■ 检查对象
在各视野内指定要检查的最小单位,称为检查对象。对每个检查对象创建指定检查范围的检查框,并设置检查内容、检查条
件等各项参数。所创建的检查对象框以黄绿色显示,被选中的检查框以红色显示。
检查对象的创建例
26209-P9-00

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1.3 检查方法
要进行检查,首先必须使用上中下 3 层照明对各个视野拍摄图像。上层位置有 2 种照明,一共可以拍摄 4 张图像。
以此 4 张图像为基础,从图像列表中选择照明 ( 图像处理方法 ) 后调节亮度 (255 级浓淡 ) 使检查部位显示为红色。
以显示为红色时的像素值和位置为基础进行检查。
■ 照明
3层照明
U:上层照明(IR)、H:上层照明
M
:中层照明
L:下层照明
25200-P9-00
■ 图像列表
选择检查对象后,按 [ 照明列表 ] 按钮,会以列表形式显示用各种照明组合拍摄的图像。操作画面下部的界限值滑动条,选
择可以使检查部位变红的照明。
图像列表
界限值滑动条
26210-P9-00

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■ 照明结果样本
如下图所示,即使同一位置的图像,如变换照明,检查部位 ( 红色位置 ) 会发生变化。
照明例
原图像
将亮度值设置为200 〜 255时,各照明下检查部位如下不同
上层照明(U)
红:白色部分和发亮的部分
灰色部分
蓝:暗绿色部分
中层照明(M)
红:白色部分和发亮部分(包含丝印部分)
绿色部分中发亮的范围(接近暗绿色的部分)
青:其它所有范围
下层照明(L)
红:只有白色部分(清晰的轮廓部分)
蓝:其它所有范围
26211-P9-00
■ 最小检出尺寸 X、Y
通过设置最小检出尺寸,可以使干扰成分被排除在检查对象之外,只检出要检查的对象物。
最小检出尺寸
最小检出尺寸不同,检出部位也不相同
可以检出1x1,不检出5x5,
因为无法完全占满5x5的检出范围。
因可以完全占满10x10的检出范围,所以会被检出
可以检出1x1和5x5,不检出10x10,
因为无法完全占满10x10的检出范围。
1x1mm
5x5mm
10x10 mm
26212-P9-00