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6 Optionen Betriebsanleitung SIPLACE Wafer System (SWS) 6.3 SWS Wafer Stretcher (Expander) Ausgabe 02/2018 120 6.3.5 Rahmenbreite bei 8" W aferaufnahme einstellen Bei den 8" W aferaufnahmen muss die Rahmenbreit…

Betriebsanleitung SIPLACE Wafer System (SWS) 6 Optionen

Ausgabe 02/2018 6.3 SWS Wafer Stretcher (Expander)

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6.3.4.2 Einstellungen

Abb. 6.3 - 4 SWS Wafer Stretcher (Expander) - Stretch-Höhe einstellen

 Lösen Sie an den vier Positionen (1) die Schraube (2).

 Schieben Sie die Schraube (2) an die Position mit der jeweiligen Stretch-Höhe (2, 4, 6, oder

8 mm).

 Ziehen Sie die Schraube (2) fest.

 Drehen Sie an den beiden Positionen (3) die Schraube in die Position mit der jeweiligen

Stretch-Höhe (2, 4, 6, oder 8 mm).

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6.3 SWS Wafer Stretcher (Expander) Ausgabe 02/2018

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6.3.5 Rahmenbreite bei 8" Waferaufnahme einstellen

Bei den 8" Waferaufnahmen muss die Rahmenbreite des Wafers eingestellt werden. Bei 12" Wa-

feraufnahmen ist das nicht nötig.

Es können Wafer mit einer Rahmenbreite von 10,5" (FF 105) oder 10,8" (FF 108) verarbeitet wer-

den. Je nach Rahmenbreite müssen Sie mechanische Einstellungen an sieben Positionen vor-

nehmen.

6.3.5.1 Vorbereitungen

 Beenden Sie alle laufenden Vorgänge am SWS-Modul.

 Fahren Sie den Wafer-Tisch in die Wechselposition.

 Wählen Sie in der Ansicht Manuelle Bedienung -> Wafer-Handling-Systeme -> Wech-

selposition anfahren.

 Öffnen Sie die Klemmung.

 Wählen Sie in der Ansicht Manuelle Bedienung -> Wafer-Handling-Systeme -> Wa-

fer-Klemmung öffnen.

– Die Klemmung wird geöffnet und der Expansionsring wird nach unten gefahren.

 Öffnen Sie den Expander

 Wählen Sie in der Ansicht Manuelle Bedienung -> Wafer-Handling-Systeme -> Ex-

pander loslassen.

– Das Niederhalter-Blech wird nach oben gefahren.

 Wählen Sie in der Ansicht Einstellungen -> Maschine herunterfahren.

SWS GUI und Linux werden ordnungsgemäß beendet. 6

 Schalten Sie das SWS am Hauptschalter aus.

VORSICHT

Beschädigungen am Greifer vermeiden

Beim Arbeiten an der Waferaufnahme kann der Greifer beschädigt werden.

 Schieben Sie den Greifer in Richtung Wafer-Lift und aus dem Arbeitsbereich der Wa-

feraufnahme.

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6.3.5.2 Einstellungen

Abb. 6.3 - 5 Wafer-Aufnahme - Framebreite einstellen

 Lösen Sie an den vier Positionen (1) die Schrauben und montieren diese in die gewünschte

Position (FF105 oder FF 108).

 Entfernen Sie an der Position (2) die Schraube und montieren diese in die gewünschte Posi-

tion (FF105 oder FF 108).

 Lösen Sie an der Position (3) die Schraube und bringen diese in die gewünschte Position

(FF105 oder FF 108).

 Entfernen Sie an der Position (4) die Schraube und montieren diese in die gewünschte Posi-

tion (FF105 oder FF 108).