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6 Optionen Betriebsanleitung SIPLACE Wafer System (SWS) 6.3 SWS Wafer Stretcher (Expander) Ausgabe 02/2018 122 6.3.6 SWS W afer Stretcher (Exp ander) umbauen Um verschiedenen W afergrößen (8" und 12 ") am SWS W…

Betriebsanleitung SIPLACE Wafer System (SWS) 6 Optionen

Ausgabe 02/2018 6.3 SWS Wafer Stretcher (Expander)

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6.3.5.2 Einstellungen

Abb. 6.3 - 5 Wafer-Aufnahme - Framebreite einstellen

 Lösen Sie an den vier Positionen (1) die Schrauben und montieren diese in die gewünschte

Position (FF105 oder FF 108).

 Entfernen Sie an der Position (2) die Schraube und montieren diese in die gewünschte Posi-

tion (FF105 oder FF 108).

 Lösen Sie an der Position (3) die Schraube und bringen diese in die gewünschte Position

(FF105 oder FF 108).

 Entfernen Sie an der Position (4) die Schraube und montieren diese in die gewünschte Posi-

tion (FF105 oder FF 108).

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6.3 SWS Wafer Stretcher (Expander) Ausgabe 02/2018

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6.3.6 SWS Wafer Stretcher (Expander) umbauen

Um verschiedenen Wafergrößen (8" und 12") am SWS Wafer Stretcher (Expander) benutzen zu

können, müssen Sie den SWS Wafer Stretcher (Expander) umbauen.

Sie können den SWS Wafer Stretcher (Expander) auf die folgende Weise bestellen:

– 00519717-xx 12 inch Wafer Expander

und optional 6

– 03079734-xx 8 inch Retrofit Kit

oder

– 00519719-xx 8 inch Wafer Expander

und optional 6

– 00519720-xx 12 inch Retrofit Kit

Die nachfolgende Anleitung beschreibt den Wechsel von 8" auf eine 12" Waferaufnahme (siehe

auch “Unterschiede beim Umbau von 12" auf 8” auf Seite 135).

Betriebsanleitung SIPLACE Wafer System (SWS) 6 Optionen

Ausgabe 02/2018 6.3 SWS Wafer Stretcher (Expander)

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6.3.6.1 Teile aus Nachrüstsatz 12" Wafer Expander

Abb. 6.3 - 6 Teile Nachrüstsatz 12" Waferaufnahme

(1) Montagewinkel für Sensor 1 (inkl. 2 Stk. M3x6 Schrauben)

(2) Montagewinkel für Sensor 2 (inkl. 2 Stk. M3x6 Schrauben)

(3) Klotz mit Befestigungsschrauben für Klemmung

(4) Hilfstool zur Fixierung der Hubkolben, [Artikel-Nr. 03121551-xx] wird beigelegt und ist zukünf-

tig in der SWS Service Box enthalten

(5) Hubring

(6) Niederhalter-Blech rechts und links