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Betriebsanleitung SIPLACE Wafer System (SWS) 6 Optionen Ausgabe 02/2018 6.3 SWS Wafer Stretcher (Expander) 123 6.3.6.1 T eile aus Nachrüst satz 12" W afer Expander Abb. 6.3 - 6 T eile Nachrüstsatz 12" Waferaufn…
6 Optionen Betriebsanleitung SIPLACE Wafer System (SWS)
6.3 SWS Wafer Stretcher (Expander) Ausgabe 02/2018
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6.3.6 SWS Wafer Stretcher (Expander) umbauen
Um verschiedenen Wafergrößen (8" und 12") am SWS Wafer Stretcher (Expander) benutzen zu
können, müssen Sie den SWS Wafer Stretcher (Expander) umbauen.
Sie können den SWS Wafer Stretcher (Expander) auf die folgende Weise bestellen:
– 00519717-xx 12 inch Wafer Expander
und optional 6
– 03079734-xx 8 inch Retrofit Kit
oder
– 00519719-xx 8 inch Wafer Expander
und optional 6
– 00519720-xx 12 inch Retrofit Kit
Die nachfolgende Anleitung beschreibt den Wechsel von 8" auf eine 12" Waferaufnahme (siehe
auch “Unterschiede beim Umbau von 12" auf 8” auf Seite 135).
Betriebsanleitung SIPLACE Wafer System (SWS) 6 Optionen
Ausgabe 02/2018 6.3 SWS Wafer Stretcher (Expander)
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6.3.6.1 Teile aus Nachrüstsatz 12" Wafer Expander
Abb. 6.3 - 6 Teile Nachrüstsatz 12" Waferaufnahme
(1) Montagewinkel für Sensor 1 (inkl. 2 Stk. M3x6 Schrauben)
(2) Montagewinkel für Sensor 2 (inkl. 2 Stk. M3x6 Schrauben)
(3) Klotz mit Befestigungsschrauben für Klemmung
(4) Hilfstool zur Fixierung der Hubkolben, [Artikel-Nr. 03121551-xx] wird beigelegt und ist zukünf-
tig in der SWS Service Box enthalten
(5) Hubring
(6) Niederhalter-Blech rechts und links
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6.3.6.2 Vorbereitungen
Beenden Sie alle laufenden Vorgänge am SWS-Modul.
Fahren Sie den Wafer-Tisch in die Wechselposition.
Wählen Sie in der Ansicht Manuelle Bedienung -> Wafer-Handling-Systeme -> Wech-
selposition anfahren.
Öffnen Sie die Klemmung.
Wählen Sie in der Ansicht Manuelle Bedienung -> Wafer-Handling-Systeme -> Wa-
fer-Klemmung öffnen.
– Die Klemmung wird geöffnet und der Expansionsring wird nach unten gefahren.
Öffnen Sie den Expander
Wählen Sie in der Ansicht Manuelle Bedienung -> Wafer-Handling-Systeme -> Ex-
pander loslassen.
– Das Niederhalter-Blech wird nach oben gefahren.
Wählen Sie in der Ansicht Einstellungen -> Maschine herunterfahren.
SWS GUI und Linux werden ordnungsgemäß beendet. 6
Schalten Sie das SWS am Hauptschalter aus.
VORSICHT
Beschädigungen am Greifer vermeiden
Beim Arbeiten am SWS Wafer Stretcher (Expander) kann der Greifer beschädigt werden.
Schieben Sie den Greifer in Richtung Wafer-Lift und aus dem Arbeitsbereich des
SWS Wafer Stretcher (Expander).