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6 Optionen Betriebsanleitung SIPLACE Wafer System (SWS) 6.3 SWS Wafer Stretcher (Expander) Ausgabe 02/2018 124 6.3.6.2 V orbereitungen  Beenden Sie alle laufenden V orgänge am SWS-Modul.  Fahren Sie den W afer-T isch i…

Betriebsanleitung SIPLACE Wafer System (SWS) 6 Optionen

Ausgabe 02/2018 6.3 SWS Wafer Stretcher (Expander)

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6.3.6.1 Teile aus Nachrüstsatz 12" Wafer Expander

Abb. 6.3 - 6 Teile Nachrüstsatz 12" Waferaufnahme

(1) Montagewinkel für Sensor 1 (inkl. 2 Stk. M3x6 Schrauben)

(2) Montagewinkel für Sensor 2 (inkl. 2 Stk. M3x6 Schrauben)

(3) Klotz mit Befestigungsschrauben für Klemmung

(4) Hilfstool zur Fixierung der Hubkolben, [Artikel-Nr. 03121551-xx] wird beigelegt und ist zukünf-

tig in der SWS Service Box enthalten

(5) Hubring

(6) Niederhalter-Blech rechts und links

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6.3.6.2 Vorbereitungen

 Beenden Sie alle laufenden Vorgänge am SWS-Modul.

 Fahren Sie den Wafer-Tisch in die Wechselposition.

 Wählen Sie in der Ansicht Manuelle Bedienung -> Wafer-Handling-Systeme -> Wech-

selposition anfahren.

 Öffnen Sie die Klemmung.

 Wählen Sie in der Ansicht Manuelle Bedienung -> Wafer-Handling-Systeme -> Wa-

fer-Klemmung öffnen.

– Die Klemmung wird geöffnet und der Expansionsring wird nach unten gefahren.

 Öffnen Sie den Expander

 Wählen Sie in der Ansicht Manuelle Bedienung -> Wafer-Handling-Systeme -> Ex-

pander loslassen.

– Das Niederhalter-Blech wird nach oben gefahren.

 Wählen Sie in der Ansicht Einstellungen -> Maschine herunterfahren.

SWS GUI und Linux werden ordnungsgemäß beendet. 6

 Schalten Sie das SWS am Hauptschalter aus.

VORSICHT

Beschädigungen am Greifer vermeiden

Beim Arbeiten am SWS Wafer Stretcher (Expander) kann der Greifer beschädigt werden.

 Schieben Sie den Greifer in Richtung Wafer-Lift und aus dem Arbeitsbereich des

SWS Wafer Stretcher (Expander).

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6.3.6.3 Ausbau der 8" Waferaufnahme

Niederhalter-Blech ausbauen

Es muss das Niederhalter-Blech für die jeweilige Waferaufnahme ausgetauscht werden.

Abb. 6.3 - 7 Wafer-Aufnahme - Niederhalter-Blech ausbauen

 Stecken Sie das Hilfstool (2) zur Fixierung der Hubkolben in die Öffnung und fixieren Sie da-

mit den innen liegenden Hubkolben (2+5).

 Lösen Sie nacheinander die jeweils 4 Schrauben (1) an den beiden Niederhalter-Blechen (4).

 Entnehmen Sie die konische Fixierscheibe (3). Achten Sie darauf, dass Sie diese für den spä-

teren Wiedereinbau nicht verlieren.

 Entnehmen Sie die beiden Niederhalter-Bleche (4).