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6 Optionen Betriebsanleitung SIPLACE Wafer System (SWS) 6.3 SWS Wafer Stretcher (Expander) Ausgabe 02/2018 128 Sensoren beim 8" Hubring demontiere n Bei der 8" Waferaufnahme sind die beiden Sens oren am Hubring…
Betriebsanleitung SIPLACE Wafer System (SWS) 6 Optionen
Ausgabe 02/2018 6.3 SWS Wafer Stretcher (Expander)
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Hubring entfernen
Es muss der Hubring für die jeweilige Waferaufnahme ausgetauscht werden.
Abb. 6.3 - 9 Wafer-Aufnahme - Hubring ausbauen
Entfernen Sie die 4 Schrauben (1) für die Fixierung des Hubringes.
Entnehmen Sie die Fixierscheibe (2) und die Feder (3). Achten Sie darauf, dass Sie die Fi-
xierscheibe (2) und die Feder (3) für den späteren Wiedereinbau nicht verlieren.
Stecken Sie die beiden Sensoren (4) am Stecker (5) der Kabelverlängerung (6) ab.
Entnehmen Sie den Hubring.
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6 Optionen Betriebsanleitung SIPLACE Wafer System (SWS)
6.3 SWS Wafer Stretcher (Expander) Ausgabe 02/2018
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Sensoren beim 8" Hubring demontieren
Bei der 8" Waferaufnahme sind die beiden Sensoren am Hubring befestigt. Diese Sensoren müs-
sen für den späteren Wiedereinbau vom 8" Hubring demontiert werden. Bei der 12" Waferauf-
nahme werden die beiden Sensoren mit Hilfe der mitgelieferten Winkeln auf die Waferaufnahme
im SWS montiert.
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Abb. 6.3 - 10 Wafer-Aufnahme - 8" Hubring ausgebaut
Demontieren Sie die, über den Sensoren angebrachten, Hitzeschutzbleche.
Demontieren Sie die beiden Sensoren (1) von den Montagewinkeln des Hubringes.
Entnehmen Sie die beiden Sensoren und montieren diese auf die beiden Montagewinkel aus
dem 12" Nachrüstsatz.
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Betriebsanleitung SIPLACE Wafer System (SWS) 6 Optionen
Ausgabe 02/2018 6.3 SWS Wafer Stretcher (Expander)
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Sensoren auf die Montagewinkel für 12" montieren
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Abb. 6.3 - 11 Wafer-Aufnahme - Sensor 1
(1) Montagewinkel
(2) Sensor auf Montagewinkel montiert
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Abb. 6.3 - 12 Wafer-Aufnahme - Sensor 2
(1) Montagewinkel
(2) Sensor auf Montagewinkel montiert
Montieren Sie die beiden Sensoren (2) auf die Montagewinkel (1) aus dem 12" Nachrüstsat-
zes.
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