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Betriebsanleitung SIPLACE Wafer System (SWS) 6 Optionen Ausgabe 02/2018 6.3 SWS Wafer Stretcher (Expander) 133 Hubring mont ieren 6 Abb. 6.3 - 16 Wafer - Aufnahme - Hubring montieren  Legen Sie den Hubring (1) ein.  S …

6 Optionen Betriebsanleitung SIPLACE Wafer System (SWS)

6.3 SWS Wafer Stretcher (Expander) Ausgabe 02/2018

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Abdeckblech montieren (nur bei 12" Waferaufnahme)

Montieren Sie das Abdeckblech mit 4 Schrauben auf die Waferaufnahme.

Abb. 6.3 - 15 Wafer-Aufnahme - Abdeckblech montieren

Betriebsanleitung SIPLACE Wafer System (SWS) 6 Optionen

Ausgabe 02/2018 6.3 SWS Wafer Stretcher (Expander)

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Hubring montieren

Abb. 6.3 - 16 Wafer-Aufnahme - Hubring montieren

 Legen Sie den Hubring (1) ein.

 Stecken Sie die vier Federn (3) in die vier Bohrungen.

 Stecken Sie die vier Fixierscheiben (2) auf.

 Befestigen Sie die Fixierscheiben mit den Befestigungsschrauben (4).

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6.3 SWS Wafer Stretcher (Expander) Ausgabe 02/2018

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Niederhalter-Bleche montieren

Abb. 6.3 - 17 SWS Wafer Stretcher (Expander) - Niederhalter-Blech ausbauen

 Richten Sie die Hubkolben mit dem Hilfstool (2) so aus, dass die Öffnung nach außen zeigen.

 Legen Sie die Niederhalter-Bleche aus dem 12" Nachrüstsatz auf die Waferaufnahme.

 Legen Sie die konischen Fixierscheiben (3) in die Bohrung ein.

 Schrauben Sie die Niederhalter-Bleche mit den Schrauben locker fest.

 Stecken Sie das Hilfstool (2) in die Öffnung und fixieren Sie damit den innen liegenden Hub-

kolben.

 Schrauben Sie die jeweils 4 Schrauben (1) an den beiden Niederhalter-Blechen (4) fest.