00198370-01_UM_SWS-DE - 第134页
6 Optionen Betriebsanleitung SIPLACE Wafer System (SWS) 6.3 SWS Wafer Stretcher (Expander) Ausgabe 02/2018 134 Niederhalter-Bleche mont ieren Abb. 6.3 - 17 SWS Wafer S tretcher (Expander) - Niederhalter-Blech ausbauen …
Betriebsanleitung SIPLACE Wafer System (SWS) 6 Optionen
Ausgabe 02/2018 6.3 SWS Wafer Stretcher (Expander)
133
Hubring montieren
6
Abb. 6.3 - 16 Wafer-Aufnahme - Hubring montieren
Legen Sie den Hubring (1) ein.
Stecken Sie die vier Federn (3) in die vier Bohrungen.
Stecken Sie die vier Fixierscheiben (2) auf.
Befestigen Sie die Fixierscheiben mit den Befestigungsschrauben (4).
2
3
4
1
6 Optionen Betriebsanleitung SIPLACE Wafer System (SWS)
6.3 SWS Wafer Stretcher (Expander) Ausgabe 02/2018
134
Niederhalter-Bleche montieren
Abb. 6.3 - 17 SWS Wafer Stretcher (Expander) - Niederhalter-Blech ausbauen
Richten Sie die Hubkolben mit dem Hilfstool (2) so aus, dass die Öffnung nach außen zeigen.
Legen Sie die Niederhalter-Bleche aus dem 12" Nachrüstsatz auf die Waferaufnahme.
Legen Sie die konischen Fixierscheiben (3) in die Bohrung ein.
Schrauben Sie die Niederhalter-Bleche mit den Schrauben locker fest.
Stecken Sie das Hilfstool (2) in die Öffnung und fixieren Sie damit den innen liegenden Hub-
kolben.
Schrauben Sie die jeweils 4 Schrauben (1) an den beiden Niederhalter-Blechen (4) fest.
1
1
1
1
1
1
1
1
2
3
4
4
4
Betriebsanleitung SIPLACE Wafer System (SWS) 6 Optionen
Ausgabe 02/2018 6.3 SWS Wafer Stretcher (Expander)
135
6.3.6.4 Unterschiede beim Umbau von 12" auf 8
Die Sensoren von der Waferaufnahme müssen demontiert und auf die 8" Expansionsbleche mon-
tiert werden. Siehe Siehe “Wafer-Aufnahme - 8" Hubring ausgebaut” auf Seite 128.
An der Klemmung muss der Klotz demontiert werden und anstelle der Klemmhebel eingehängt
werden. Siehe Siehe “Wafer-Aufnahme - Klemmung lösen” auf Seite 126.