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Betriebsanleitung SIPLACE Wafer System (SWS) 6 Optionen Ausgabe 02/2018 6.3 SWS Wafer Stretcher (Expander) 135 6.3.6.4 Unterschiede beim Umbau von 12" auf 8 Die Sensoren vo n der W aferaufnahme müsse n demo ntiert u…
6 Optionen Betriebsanleitung SIPLACE Wafer System (SWS)
6.3 SWS Wafer Stretcher (Expander) Ausgabe 02/2018
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Niederhalter-Bleche montieren
Abb. 6.3 - 17 SWS Wafer Stretcher (Expander) - Niederhalter-Blech ausbauen
Richten Sie die Hubkolben mit dem Hilfstool (2) so aus, dass die Öffnung nach außen zeigen.
Legen Sie die Niederhalter-Bleche aus dem 12" Nachrüstsatz auf die Waferaufnahme.
Legen Sie die konischen Fixierscheiben (3) in die Bohrung ein.
Schrauben Sie die Niederhalter-Bleche mit den Schrauben locker fest.
Stecken Sie das Hilfstool (2) in die Öffnung und fixieren Sie damit den innen liegenden Hub-
kolben.
Schrauben Sie die jeweils 4 Schrauben (1) an den beiden Niederhalter-Blechen (4) fest.
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6.3.6.4 Unterschiede beim Umbau von 12" auf 8
Die Sensoren von der Waferaufnahme müssen demontiert und auf die 8" Expansionsbleche mon-
tiert werden. Siehe Siehe “Wafer-Aufnahme - 8" Hubring ausgebaut” auf Seite 128.
An der Klemmung muss der Klotz demontiert werden und anstelle der Klemmhebel eingehängt
werden. Siehe Siehe “Wafer-Aufnahme - Klemmung lösen” auf Seite 126.
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