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1 Einleitung Betriebsanleitung SIPLACE Wafer System (SWS) 1.2 Funktionsbeschreibung Ausgabe 04/2018 26 1.2.4.4 Flip Chip codierte Positionen (nach dem Ka librieren) 1 1 Abb. 1.2 - 9 Flip Chip codierte Positionen - nach d…

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Betriebsanleitung SIPLACE Wafer System (SWS) 1 Einleitung
Ausgabe 04/2018 1.2 Funktionsbeschreibung
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1.2.4.3 Die-Attach - Übergabe-Prozess
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Abb. 1.2 - 8 Die-Attach - Übergabe-Prozess (Prinzip-Darstellung)
(1) Das Die-Attach dreht zur Übergabeposition.
(2) Der SIPLACE Kopf holt das Chip vom Die-Attach Segment ab und dreht zur nächsten Stern-
position.
(3) Zum selben Zeitpunkt zieht die Flipper-Transfer-X-Achse das Segment Nr. 1 in die Grundpo-
sition zurück.
(4) Die Flip Chip Einheit - Segment Nr. 1 dreht zur Abholposition und holt den nächsten Chip.
1
HINWEIS
Bei Anwendung der Die-Attach Einheit ist nur das Segment Nr.1 der Flip Chip Einheit in
Aktion.
(1)
(2)
(3)
(4)
1 Einleitung Betriebsanleitung SIPLACE Wafer System (SWS)
1.2 Funktionsbeschreibung Ausgabe 04/2018
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1.2.4.4 Flip Chip codierte Positionen (nach dem Kalibrieren)
1
1
Abb. 1.2 - 9 Flip Chip codierte Positionen - nach dem Kalibrieren (Prinzip-Darstellung)
0°
Home Sensor Position
180°
Abholposition, Segment 1
125°
Kamera "free" Position, Segment 1
96°
Abblasposition, Segment 1
105°
Home Offset Position
83°
Abblasposition, Segment 2
58°
Kamera "free" Position, Segment 2
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1
Abb. 1.2 - 10 Initialisierung der Flip-Rotationsachse-Achse (Prinzip-Darstellung)
(1) Mechanischer Anschlag
(2) Home Sensor
Der Home-Sensor wird zur Initialisierung der Flip-Rotations-Achse benutzt. Während der Initiali-
sierung fährt die Rotationsachse langsam bis zum Auslösen des Home-Sensors. Anschließend
wird in einem Bereich von 0-30° der Rotationsachse der erste Nullimpuls gesucht. Dadurch wird
die Nullposition der Flip-Rotationsachse definiert.
Abwurfbehälter
Segment Nr. 2
Abwurfbehälter
Segment Nr. 1
1. Mechanischer Anschlag
2. Home Sensor