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Betriebsanleitung SIPLACE Wafer System (SWS) Inhalt Ausgabe 04/2018 3 Inhalt 1 Einleitung . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 9 1.1 Übersicht . …
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Artikel-Nr.: 00198370-01
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Betriebsanleitung SIPLACE Wafer System (SWS) Inhalt
Ausgabe 04/2018
3
Inhalt
1 Einleitung . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . .9
1.1 Übersicht . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 10
1.1.1 SIPLACE CA4 V2 mit SWS . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 11
1.1.2 Seriennummer des SIPLACE Wafer System. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 12
1.1.3 EG-Konformitätserklärung . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 13
1.1.4 Bestimmungsgemäße Verwendung. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 13
1.1.5 Nicht bestimmungsgemäße Verwendung . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 14
1.1.6 Geräuschemissionsangabe . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 14
1.1.7 Wichtige Hinweise zur umweltfreundlichen Entsorgung von Materialien
bzw. Maschinenteilen. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 15
1.1.8 Elektromagnetische Verträglichkeit (EMV). . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 15
1.1.9 Hinweis zum Original-SIPLACE Zubehör. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 15
1.2 Funktionsbeschreibung . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 16
1.2.1 Funktionsprinzip des SIPLACE Wafer Systems (SWS). . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 16
1.2.2 Grundfunktionen des SWS. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 17
1.2.3 Basic-Die-Presentation-Prozess . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 18
1.2.3.1 Flip-Chip-Prozess. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 19
1.2.3.2 Die-Attach-Prozess . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 20
1.2.3.3 Die-Erkennung und -Positionierung . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 21
1.2.3.4 Ausstechvorgang . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 21
1.2.3.5 Pickup-Prozess . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 22
1.2.4 PickUp & Transfer-Prozess im Detail (am Beispiel des Die-Attach-Prozesses) . . 23
1.2.4.1 Flip Chip Segment 1 (PickUp-Prozess) . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 23
1.2.4.2 Flip Chip Segment 1 (Transfer-Prozess) . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 24
1.2.4.3 Die-Attach - Übergabe-Prozess . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 25
1.2.4.4 Flip Chip codierte Positionen (nach dem Kalibrieren) . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 26
1.3 Personalqualifikation und Schulung . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . .29
1.4 Bedienebenen . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 30
1.5 Wichtige Hinweise zur Betriebsanleitung . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 31
1.5.1 Inhalt und Aufbewahrung der Betriebsanleitung . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 31
1.5.2 Gefahrenhinweise . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 31
1.5.3 Mängelhaftung durch den Hersteller/Lieferer. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 31
1.5.4 Übersicht über die Ausgabestände . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 32
1.5.5 Weitere Informationen und Inhalte des Dokumentationspakets. . . . . . . . . . . . . . . 32
1.5.5.1 Wo bekommen Sie Informationen? . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 32
1.5.5.2 SIPLACE im World-Wide-Web (WWW) . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 32
1.5.6 Abkürzungen . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 33
Inhalt Betriebsanleitung SIPLACE Wafer System (SWS)
Ausgabe 04/2018
4
2 Betriebssicherheit . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . .35
2.1 Sicherheitshinweise . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 35
2.1.1 Konvention zur Verwendung von Gefahrensymbolen . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . .35
2.1.2 Qualifiziertes Personal . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . .36
2.1.3 Wichtige Hinweise zur Betriebssicherheit. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . .36
2.1.3.1 Allgemeines . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . .36
2.1.3.2 Zur Sicherheit von Personen und Bedienpersonal. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . .37
2.1.3.3 Zur Sicherheit von Anlagen und Geräten. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . .38
2.2 Warnschilder am SIPLACE Wafer System. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . .39
2.2.1 Übersicht über die Warnschilder . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . .39
2.2.2 Warnschilder. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . .41
2.2.2.1 Warnschild W201 . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . .41
2.2.2.2 Warnschild W204 . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . .41
2.2.2.3 Warnschild W206 . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . .41
2.2.2.4 Warnschild W210 . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . .42
2.2.3 Warnschild am SIPLACE SWS Wafer Stretcher . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . .43
2.2.4 Warnhinweis auf der Linear-Dipping-Unit (LDU X). . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . .44
2.2.5 Warnhinweis auf der Flip-Unit und der Die-Attach-Unit . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . .45
2.3 Sicherheitshinweise zum Transport . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . .46
2.4 Sicherheitshinweise zum Betrieb. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . .47
2.4.1 Sicherheitshinweise zum Schließen der seitlichen Schiebetüren. . . . . . . . . . . . . .47
2.4.2 Hinweis zur EGB-Sicherheit. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . .48
2.5 Sicherheitshinweise zum Betrieb des SWS . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . .49
2.5.1 Sicherheitshinweise zu Arbeiten am Wafer-Tisch . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . .49
2.5.2 Sicherheitshinweise zum Wechseln der Wafermagazine. . . . . . . . . . . . . . . . . . . .49
2.5.3 Sicherheitshinweise zum Schließen der SWS Schiebetür . . . . . . . . . . . . . . . . . . .50
2.5.4 Sicherheitshinweise zur Linear-Dipping-Unit (LDU X) . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . .50
2.6 Sicherheitseinrichtungen . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . .51
2.6.1 Schiebetür . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . .51
2.6.2 NOT-HALT-Taster und Hauptschalter . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . .52
2.6.3 Sicherheitsabschaltung . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . .54
2.6.3.1 Voraussetzungen . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . .54
2.6.3.2 Komponenten der Sicherheitsabschaltung. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . .54
2.6.3.3 NOT-HALT aktivieren. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . .55
2.6.3.4 NOT-HALT zurücksetzen . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . .55
2.6.3.5 Rückstellen der Verriegelung . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . .55
2.6.3.6 Auslösen der Verriegelung. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . .55
2.6.4 Energiezustand des SWS nach Ausschalten des Hauptschalters . . . . . . . . . . . . .56
2.6.5 Druckluftverhältnisse im SWS nach Abschalten des Hauptschalters. . . . . . . . . . .56
2.7 Sperren der Druckluftzufuhr und Druckabbau . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . .57
2.8 Verriegeln und Anbringen von Warnschildern . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . .58
2.8.1 Aufgabe und Zweck . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . .58