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Betriebsanleitung SIPLACE Wafer Sy stem (S WS) 2 Betriebssicherheit Ausgabe 02/2018 2.5 Sicherheitshinweise zum Betrieb des SWS 49 2.5 Sicherheit shinweise zum Betrieb des SWS 2.5.1 Sicherheit shinweise zu Arbeiten am Wa…
2 Betriebssicherheit Betriebsanleitung SIPLACE Wafer System (SWS)
2.4 Sicherheitshinweise zum Betrieb Ausgabe 02/2018
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Abb. 2.4 - 1 Sicherheitshinweise zum Schließen der seitlichen Schiebetüren
(1) Griff
(2) Seitliche Schiebetüre
2.4.2 Hinweis zur EGB-Sicherheit
Verwenden Sie ausschließlich Pipetten, die als leitfähig gekennzeichnet sind. Nur so erfüllen Sie
die Voraussetzungen für die EGB-Sicherheit des SIPLACE Wafer Systems (SWS).
(1)
(2)
Betriebsanleitung SIPLACE Wafer System (SWS) 2 Betriebssicherheit
Ausgabe 02/2018 2.5 Sicherheitshinweise zum Betrieb des SWS
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2.5 Sicherheitshinweise zum Betrieb des SWS
2.5.1 Sicherheitshinweise zu Arbeiten am Wafer-Tisch
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2.5.2 Sicherheitshinweise zum Wechseln der Wafermagazine
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2
WARNUNG
Quetschgefahr!
Der Wafer-Tisch kann Quetschungen verursachen.
Greifen Sie nie mit der Hand durch den Schlitz im Magazin-Lift in Richtung Wafer-
Tisch.
WARNUNG
Schwere Wafermagazine!
Ein volles Wafermagazin kann bis zu 25 kg wiegen.
Hantieren Sie entsprechend vorsichtig mit dem Wafermagazin.
Ziehen Sie ggf. eine weitere Person hinzu.
VORSICHT
Beschädigungsgefahr bei unsachgemäßer Handhabung!
Bei unsachgemäßer Handhabung können das Wafer-Magazin und der Magazin-Lift be-
schädigt werden.
Achten Sie darauf, dass nichts aus dem Magazin-Lift herausragt.
Achten Sie darauf, dass nur das vorgesehene Wafer-Magazin ordnungsgemäß auf
die Magazin-Lift-Platte gestellt wird.
2 Betriebssicherheit Betriebsanleitung SIPLACE Wafer System (SWS)
2.5 Sicherheitshinweise zum Betrieb des SWS Ausgabe 02/2018
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2.5.3 Sicherheitshinweise zum Schließen der SWS Schiebetür
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– Die SWS Schiebetür kann im Betrieb zum Tausch des Wafer-Magazins geöffnet werden - das
SWS produziert weiter. Das Öffnen der SWS Schiebetür setzt nur den Magazin-Lift außer Be-
trieb.
2.5.4 Sicherheitshinweise zur Linear-Dipping-Unit (LDU X)
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WARNUNG
Quetschgefahr!
Beim Schließen der SWS Schiebetür besteht Quetschgefahr für die Hände.
Fassen Sie zum Öffnen bzw. Schließen der SWS Schiebetür diese grundsätzlich in
die dafür vorgesehene Griffmulde. Siehe in Abb. 2.6 - 1
, Seite 51,
GEFAHR
Gefahrenstoffe (Flussmittel)!
Die Flussmittel der LDU X sind gesundheitsschädlich!
Beachten Sie unbedingt das dem Flussmittel beigefügte Sicherheitsdatenblatt (Mate-
rial Safety Datasheet - MSDS)
Achten Sie darauf, dass die vorgeschriebenen Maßnahmen erfüllt werden.
Tragen Sie beim Befüllen und beim Reinigen der LDU X sowie beim Entsorgen der
Flussmittel stets die vorgeschriebene Schutzkleidung (z. B. Atemschutz, Hand-
schuhe, Brille).